电阻式蒸进发镀膜机具体操作说明书.docVIP

3 - 电阻式蒸发镀膜机技术员培训文件 §声明§：此镀膜机为专业领域使用镀膜设备，要由经过专业培训的镀膜技师操作此设备，对于操作人员误操作而造成的机械故障以及泵、腔、电器故障及损坏我司将不予负责。 设备开机的具体操作步骤 我厂生产镀膜机为手/自动可切换型镀膜设备。下面先讲一下手动开机和自 动开机的具体步骤，《手自动关机待看标题第四项》 手动开机（预机）（预：预热。机：设备） ①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆接头是否松动、等等辅助设备。 ②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已经进入通电待机状态，然后点击触摸屏上的“维持泵”图像按钮，打开维持泵。带真空达到15Pa时（1.5x10°Pa）再点击触摸屏上的“扩散泵”图像按钮打开“扩散泵”《弯曲线变成红色》待加热90分钟，开机（预机）完成。 自动开机（预机）（预：预热。机：设备） ①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆接头是否松动、等等辅助设备。 ②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已经进入通电待机状态， 然后点击触摸屏上的“参数设定”键， 按下后会自动弹出一个新的画面，再点击新画面上的“自动开关机”键，紧接着又会弹出一个自动开关