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电子能量损失谱仪在材料科学中的应用 段晓峰 中国科学院电子显微镜重点实验室 中国科学院物理研究所凝聚态物理中心 电子与样品的相互作用电子的非弹性散射 透射电镜和电子能量损失谱仪 EELS 的聚焦和AC杂散磁场补偿 CCD结构示意图 内壳层电子的激发和跃迁 The main exci-tation allowed for core elec-trons obeys the dipole selection rule: 内层电子激发和能带结构 内壳层电子的激发符号规定 内壳层电子的激发和周期表 样品厚度对EELS的影响 退卷积: Fourier ratio方法消除谱仪的影响 近边精细结构(5) Z-Contrast Scanning Transmission Electron Microscopy Spatially resolved EELS(1) 能量损失谱中的主要信息 低能损失区 0~50eV 1 样品厚度 2 复介电系数 3 价带和导带电子态密度,禁带宽度 高能损失区 50~2000eV 1 元素成分（Li~U） 2 化学价态和态密度，近邻结构 3 径向分布函数（配位数和配位距离） 电子能量过滤成像 1 完全弹性散射电子像 2 元素成分分布图 3 其他特征能量电子过滤成像 GaAs EELS Spectrometer Annular