集成电路器积件工艺.pptVIP

* 了解NMOS工艺的意义 目前CMOS工艺已在VLSI设计中占有压倒一切的优势. 但了解NMOS工艺仍具有几方面的意义: CMOS工艺是在PMOS和NMOS工艺的基础上发展起来的. 从NMOS工艺开始讨论对于学习CMOS工艺起到循序渐进的作用. NMOS电路技术和设计方法可以相当方便地移植到CMOS VLSI的设计. GaAs逻辑电路的形式和众多电路的设计方法与NMOS工艺基本相同. * 增强型和耗尽性MOSFET (Enhancement mode and depletion mode MOSFET) FET（Field Effect Transisitor） 按衬底材料区分有Si, GaAs, InP 按场形成结构区分有 J/MOS/MES 按载流子类型区分有 P/N 按沟道形成方式区分有 E/D * E-/D-NMOS和E-PMOS的电路符号 图 4.13 * E-NMOS的结构示意图(增强型VD=0V, Vgs=Vsb=0V) 图4.14 E-NMOS的结构示意图 * D-NMOS的结构示意图(耗尽型 VD=0V, Vgs=Vsb=0V) 图4.14 D-NMOS的结构示意图 * E-PMOS的结构示意图 (增强型 VD=0V, Vgs=Vsb=0V) 图4.14 E-PMOS的结构示意图 * 工作原理：在栅极电压作用下，漏区和源区之间形成