硅片制备--多晶硅铸锭咯炉和单晶炉2.pptVIP

二、多晶硅铸锭炉1.多晶硅锭生长方法 根据生长方法的不同，多晶硅可分为等轴晶、柱状晶。通常在热过冷及自由凝固的情况下会形成等轴晶，其特点是晶粒细，机械物理性能各向同性。 如果在凝固过程中控制液固界面的温度梯度，形成单方向热流，实行可控的定向凝固，则可形成物理机械性能各向异性的多晶柱状晶，太阳电池多晶硅锭就是采用这种定向凝固的方法生产的。 在实际生产中，太阳电池多晶硅锭的定向凝固生长方法主要有浇铸法、热交换法（ HEM ）、布里曼（ Bridgeman）法、电磁铸锭法，其中热交换法与布里曼法通常结合在一起。 1.1浇铸法 浇铸法将熔炼及凝固分开，熔炼在一个石英砂炉衬的感应炉中进行，熔融的硅液浇入一个石墨模型中，石墨模型置于一个升降台上，周围用电阻加热，然后以1mm/min 的速度下降。 特点是熔化和结晶在两个不同的坩埚中进行，从图中可以看出，这种生产方法可以实现半连续化生产，其熔化、结晶、冷却分别位于不同的地方，可以有效提高生产效率，降低能源消耗。缺点是因为熔融和结晶使用不同的坩埚，会导致二次污染，此外因为有坩埚翻转机构及引锭机构，使得其结构相对较复杂。 1.2 热交换法及布里曼法 热交换法及布里曼法都是把熔化及凝固置于同一坩埚中（ 避免了二次污染），其中热交换法是将硅料在坩埚中熔化后，在坩埚底部通冷却水或冷气体，在底部进行热量交换，形成温度梯度，促使晶体定向生长。 下图为一个使用热交换法的结晶炉示意图。该炉型采用顶底加热，在熔化过程中，底部用一个可移动的热开关绝热，结晶时则将它移开以便将坩埚底部的热量通过冷却台带走，从而形成温度梯度。 布里曼法则是在硅料熔化后，将坩埚或加热元件移动使结晶好的晶体离开加热区，而液硅仍然处于加热区，这样在结晶过程中液固界面形成比较稳定的温度梯度，有利于晶体的生长。其特点是液相温度梯度dT/dX 接近常数，生长速度受工作台下移速度及冷却水流量控制趋近于常数，生长速度可以调节。实际生产所用结晶炉大都是采用热交换与布里曼相结合的技术。 下图为一个热交换法与布里曼法相结合的结晶炉示意图。图中，工作台通冷却水，上置一个热开关，坩埚则位于热开关上。硅料熔融时，热开关关闭，结晶时打开，将坩埚底部的热量通过工作台内的冷却水带走，形成温度梯度。 同时坩埚工作台缓慢下降，使凝固好的硅锭离开加热区，维持固液界面有一个比较稳定的温度梯度，在这个过程中，要求工作台下降非常平稳，以保证获得平面前沿定向凝固。 1.3 电磁铸锭法法(EMC或者EMCP法） 利用电磁感应的冷坩埚来熔化硅原料。 这种熔化和凝固技术可以在不同的部位同时进行，节约时间。而且，熔体和坩埚不直接接触，既没有坩埚的消耗，又减少了杂质的污染，特别是氧浓度和金属杂质大幅降低，另外，该技术还可以连续浇铸。不仅如此，由于电磁力对硅熔体搅拌作用，使得掺杂剂在硅熔体中的分布能更均匀，是种很有前途的铸造多晶硅技术。 但这种技术生长的多晶硅的晶粒比较细小(约为3—5 mm)、大小不均。且生长时固液界面是严重的凹型，会引入较多的晶体缺陷。因此，制备的多晶硅的少数载流子寿命较低，所制的太阳能电池效率也低。 HEM/DSS: dominating process, Pour Casting: Bridgeman: Electromagnetic Casting: continuous process, limited ingot size, 多晶硅生产过程（LDK) DSS炉 系统硬件包括：不锈钢板，一对侧板，水冷铸锭炉，供应电源，一个真空泵系统和一个控制柜，操作控制盘。 炉腔包括石墨加热区和隔热层组件。炉腔周围有架空层（以便操作和维修同时支撑着变压器），公用设施和布设在架空层地板下面的电线。 操作原理 DSS（定向固化系统）能生产较大尺寸的，优质的多晶硅锭（用于光伏工业领域）。DSS的生产量很大，能在不到50个小时的时间内生产出270kg的硅锭。在长晶期间，只有一个部件在运动，这样的设计极大地简化了操作，减小了操作的复杂性。尤其注意降低一些消耗件（例如加热器，隔热层元件）的成本，从而降低了炉子长期运行的成本。 内涂SiN的坩埚装入多晶硅料后放在导热性很强的石墨块上（即所谓的定向固化块或者DS块）。关闭炉子后排气，接通加热器电源融化硅料数小时以上。坩埚的四个竖直边都围有石墨加热器，DS-Block，坩埚四周围有隔热层。隔热层的竖直边能上下移动以便露出DS-Block的边缘，使热量辐射到下腔室的水冷四壁上。水冷却DS-Block后再返回来冷却坩埚底部，从而使坩埚内的熔融硅周围形成了一个竖直温度梯度。这个梯度使坩埚内的硅料从底部开始凝固，从熔体底部向顶部开始长晶。当所有的硅料都凝固后，在程序的控制下，硅锭需要经过退火，冷却处理以免破裂且能将（晶格）位移降到最小限度 。 炉