第四章电容番式传感器.ppt

电容改变量与角位移呈线性关系 简化： 近似直线关系 击穿问题 一般极板间距在25～200um范围内，而最大位移应小于间距的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。 差动的好处 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 变介质型电容式传感器 电容增量与被测液位的高度成线性关系 变压器式交流电桥 二极管双T型交流电桥 当传感器没有输入时， C1＝C2 一个周期内流过负载的平均电流为0 当传感器有输入时，C1！＝C2 运算放大器 　　　　　　　　　对平板电容器： 　　　　　　　　输出电压与输入位移间存在线性关系 调频电路 脉冲宽度调制电路 变极距型： 变面积型： 差动脉冲宽度调制电路适用于变极板距离和变面积式差动电容传感器，且为线性特性。 * * 4.3 电容式传感器的误差及制作要求 4.3.1 电容式传感器的误差因素 1.温度的影响 3.寄生电容的影响 2.漏电阻的影响 * * 4.3 电容式传感器的误差及制作要求 4.3.2 电容式传感器的制作要求 1） 传感器的电容值要尽量的大些。目的在于降低输出阻抗及对绝缘材料的要求，提高灵敏度。 （2） 要采用介电常数大的电介质材料。 （3） 要选用膨胀系数小的材料作为电极。目的在于减小温度附加误差。 （4） 要求电源的频率不应过低。目的在于减小输出阻抗，提高灵敏度。一般不应小于500～1000Hz。 （5） 要求传感器及引线要采用屏蔽措施。目的在于消除寄生电容的影响，提高灵敏度。 * * 4.4 电容式传感器的应用 电容式传感器不但应用于位移、振动、角度、加速度及荷重等机械量的精密测量，还广泛应用于压力、差压力、液位、料位、湿度、成分含量等参数的测量。 * * 4.4.1 电容式压力传感器 电容式压力传感器是将由被测压力引起的弹性元件的位移变化转变为电容的变化来实现测量的。 * * 4.4.2 电容式加速度传感器 电容式加速度传感器是将被测物的振动转换为电容量变化，其结构示意图如图4-19所示 * * 4.4.3 电容式湿度传感器 电容式湿度传感器是通过改变传感器中电介质的介电常数，从而引起电容量的变化来实现测量的。 * * 4.4.4 电容式荷重传感器 电容式荷重传感器是利用弹性元件的变形，致使电容随外加载荷的变化而变化。 * * 4.4.5 电容式厚度传感器 1.电容式测厚仪 * * 4.4.5 电容式厚度传感器 2.电容式厚度传感器 * * 4.4.6 电容式位移传感器 电容式位移传感器就是通过改变电容器极板间的距离引起电容量的变化来实现测量的。通常采用的是一种单极变极距式。 * * 4.5 电容栅式传感器 电容栅式传感器是在电容式传感器基础上发展起来的一种传感器。它具有电容式传感器的优点，当然它也有其自身的特点，如抗干扰能力强、精度高和量程大等特点。 * * 4.5.1 基本类型及原理 1.基本类型及原理 * * 4.5.1 基本类型及原理 2.电容栅极片的结构形式 （a）动尺 * * 4.5.2 测量电路 电容栅式传感器可采用调幅或调相式测量电路，以得到调幅或调相信号。 * * 4.5.2 测量电路 电容栅式传感器可采用调幅或调相式测量电路，以得到调幅或调相信号。 * * 附：电容式接近开关 1—检测极板 2—充填树脂 3—测量转换电路 4—塑料外壳5—灵敏度调节电位器 6—工作指示灯 7—信号电缆 * * 工作过程（1） 检测极板设置在接近开关的最前端，测量转换电路安装在接近开关壳体内，用介质损耗很小的环氧树脂填充、灌封。当没有物体靠近检测极时，检测板与大地间的电容量C非常小，它与电感L构成高品质因数（Q）的LC振荡电路，Q=1（ωCR）。当被检测物体为地电位的导电体（如与大地有很大分布电容的人体、液体等）时，检测极板对地电容C增大，LC振荡电路的Q值将下降，导致振荡器停振。 * * 工作过程（2） 当不接地、绝缘被测物体接近检测极板时，由于检测极板上施加有高频电压，在它附近产生交变电场，被检测物体就会受到静电感应，而产生极化现象，正负电荷分离，使检测极板的对地等效电容量增大，使LC振荡电路的Q值降低。对能量损耗较大的介质（如各种含水有机物），它在高频交变极化过程中是需要消耗一定能量的，该能量是由LC振荡电路提供的，必然使Q值进一步降低，振荡减弱，振荡幅度减小。当被测物体靠近到一定距离时，振荡器的Q值低到无法维持振荡而停振。根据输出电压U0的大小，可大致判定被测物接近的程度。 * * 电容式接近开关 * * * 第4章 电容式传感器 * * 引言 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容变化量的一种传感器。 结构简单、分辨力高、可非接触测量，