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第五章 电容式传感器 绪论 5. 1 电容式传感器的工作原理及形式 5.2 电容式传感器的等效电路及特性 5.3 电容式传感器的信号变换电路 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高 精度的措施 绪 论1 绪 论2 5.1 电容式传感器的 工作原理及形式 5.1电容式传感器的工作原理及形式1 5.1.1工作原理 5.1电容式传感器的工作原理及形式2 5.1电容式传感器的工作原理及形式3 5.1.2 变极距型电容式传感器 （平行板电容器式） 5.1电容式传感器的工作原理及形式4举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式5举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式6 5.1.3 变极板面积型电容传感器 5.1电容式传感器的工作原理及形式6举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式7举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式85.1.4 变介电常数型电容传感器 5.1电容式传感器的工作原理及形式9举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式10举例: 5.2 电容式传感器的 等效电路及特性 5.2 电容式传感器的等效电路及特性5.2.1 电容式传感器的等效电路 5.2 电容式传感器的等效电路及特性5.2.2 电容式传感器的几个典型特点 5.2 电容式传感器的等效电路及特性5.2.3 边缘效应及修正 5.3 电容式传感器的 信号变换电路 5.3 电容式传感器的信号变换电路 5.3 电容式传感器的信号变换电路5.3.1 交流不平衡电桥 5.3 电容式传感器的信号变换电路5.3.2 运算放大器电路 5.4 影响电容传感器精度的  因素及提高精度的措施 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施 1 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施2 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施3 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施4 B.驱动电缆 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施5 电容式传感器的三种工作原理及形式电容式传感器的等效电路及特性，电容式传感器的信号变换电路。影响电容传感器精度的因素及提高 精度的措施  本章要点 * * 电容器是电子技术的三大无源元件之一，利用电容器的原理，将非电量转化为电容量，进而实现非电量到电量的转化，在1920~1925年就有人利用电容传感器成功地测量了压力、位移、重量、温度，但实验室的结果应用到工业上有许多具体困难，因此，电容式传感器在几十年内相对于电阻式发展缓慢，但随着新材料、新工艺、新电路的开发，其中一些缺点逐渐得到克服，应用也越来越广泛，目前，电容传感器已在位移、厚度、物位、温度、振动、转速、流量及成份分析中得到广泛应用。 基本原理: 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。 电容传感器 转换电路 被 测 量 电容值变化 电 信 号 非电量 C 电量 5.1.1工作原理 5.1.2 变极距型电容式传感器 5.1.3 变极板面积型电容传感器 5.1.4 变介电常数型电容传感器 1.平行板电容器 + - d A 平行板电容器 电力线 当平行板的间距d 远小于平行板的尺寸（半径、长和宽等）时，对精度要求不是特别严格的条件下，边缘效应即可忽略。 忽略了边缘效应 R r L 同心圆筒形电容器 2.同心圆筒形电容器 忽略了边缘效应: L (R – r ) 在上述两种电容器中，决定其容量大小的诸多参数之一在待测对象的作用发生变化，其电容量将随之改变，这就是电容式传感器的物理基础。对于平行板电容器可以变化的参数有：ε、A、d等；对于同心圆筒形电容器可以变