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第5章 压电式传感器 5.1 压电效应及压电材料 一、 石英晶体的压电效应  5.2 压电式传感器测量电路 5.3 压电式传感器的应用 图5-8 压电元件的等效电路 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接, 因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc, 放大器的输入电Ri, 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra, 这样压电传感器在测量系统中的实际等效电路, 如图5 - 9所示。 图5-9 压电传感器的实际等效电路 由等效电路可知。压电传感器的泄漏电阻与前置放大器的输入电阻相并联，为保证传感器和测试系统有一定的低频（或准静态）响应，就要求压电传感器的泄漏电阻在1012Ω以上，才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求；与此相适应，测试系统则应有较大的时间常数，亦即前置放大器要有相当高的输入阻抗，否则传感器的信号电荷将通过输入电路泄漏，即产生测量误差。 既然压电传感器可以等效为电压源或电荷源，那么，压电传感器的灵敏度也有两种表示方式。一种用单位外力作用下产生的电压表示，称为电压灵敏度，用Su表示，Su=u/F；另一种则可用单位外力作用下产生的电荷表示，称为电荷灵敏度，用Sq表示，Sq=q/F。它们之间的关系可用下式表示： Su = (5-10) 二、 压电式传感器的测量电路 压电传感器本身的内阻抗很高, 而输出能量较小, 因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，其作用为: 一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗; 二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号, 也可以是电荷信号, 因此前置放大器也有两种形式: 电压放大器和电荷放大器。 1. 电压放大器（阻抗变换器） 图5 – 10（a）、（b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。  在图5 – 10（b）中, 电阻R = RaRi/(Ra+Ri), 电容C = Ca+Cc+Ci, 而ua = q/Ca, 若压电元件受正弦力f = Fmsinωt的作用, 则其电压为 （a）电压放大器电路 （b）等效电路 图5-10 电压放大器的电路原理图及其等效电路 式中: Um——压电元件输出电压幅值Um = dFm/ Ca; d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui, 其复数形式为 的幅值为 5.11 输入电压和作用力之间相位差为 在理想情况下, 传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大, 即ω（Ca +Cc+Ci）R1, 那么由式（5 - 8）可知, 理想情况下输入电压幅值Uim为 式（5- 12）表明前置放大器输入电压Uim与频率无关。一般认为ω/ω03时, 就可以认为Uim与ω无关, ω0表示测量电路时间常数之倒数, 即ω0=1/［R（Ca + Cc + Ci）］。 5.12 这表明压电传感器有很好的高频响应, 但是, 当作用于压电元件力为静态力（ω=0）时, 则前置放大器的输入电压等于零, 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉, 所以压电传感器不能用于静态力测量。  当ωR（Ca+ Cc+Ci） 1 时, 放大器输入电压Uim如式（6 - 10）所示。式中Cc为连接电缆电容, 当电缆长度改变时, Cc也将改变, 因而Uim也随之变化。因此, 压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换, 否则将引入测量误差。  例6-1 已知某压电式传感器测量最低信号频率f =1Hz,现要求在1Hz信号频率时其输出电压下降不超过5%，若采用前置电压放大器输入回路总电容Ci = 500F。求该前置放大器输入总电阻Ri是多少？( 设 =∞， =0 ) 解：由式(6-14)和(6-15)可得电压前置放大器实际输入电压的幅值与理想输入电压幅值Um之比的相对幅频特性为 K = (5-13) 式中ω为作用在电压元件上的信号角频率，ω=2πf ；τ=R iC i为前置放大器回路的时间常数。由题意可知当 K ==（1－5