高真空泵至浦简介.pptVIP

2002/12/23 SHIMADZU CORPORATION 高真空泵浦分类 1.高真空定义 压力在1×10 -3 到1×15 -6 毫米汞柱范围内的真空 2.高真空分类 1、分子泵 2、扩散泵 3、低温泵 Trouble shooting(1)-Action 請先確認controller 面板上的alarm No. ↓ 參照使用說明書確認{可能的原因}及{處理方法} ↓ 依據處理方法將trouble原因去除 岛津分子泵使用注意事项 请相关人员仔细阅读并充分理解岛津分子泵及其控制器的操作说明书 分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥，电缆线正常连接并锁紧 分子泵在通电后及正常运转时内部旋转体是由电磁力支撑悬浮的，请尽量不要碰撞泵体、控制器和缆线 当换靶或做设备保养需要停止分子泵时，请先给出停机指令（STOP），待分子泵减速结束，ROTATION指示灯熄灭（液晶显示屏上显示STOP及转速显示为0%），确认分子泵已经完全停止，才可以关掉电源。如需要拆下缆线，在如前述正常停止分子泵并关掉对应的控制器电源后，才可以拆下与分子泵对应的缆线。分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头 当需要对腔体恢复大气时，务必等分子泵完全停止时再进行放气 岛津分子泵使用注意事项 当遇到意外断电时，分子泵会发生报警（POWER FAILURE），此时分子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态，同时减速运行（BRAKE），在减速到一定转速时，自发电停止，旋转体掉落（TOUGH DOWN），由保护轴承支撑继续旋转减速直至完全停止。在分子泵旋转体掉到保护轴承上时，分子泵会发出比较大的声音，这种情况是正常的。遇到意外断电时，请设法尽快恢复供电，如能在5分钟之内恢复供电，则不会发生TOUGH DOWN，旋转体会恢复悬浮状态，重新启动也可以进行。 当发生人为误操作导致断电时，请及时恢复供电，需要分子泵继续运转时，请按RESET按钮（按第一下，报警蜂鸣器消音，按第二下，报警复位，报警指示灯熄灭），之后给出启动（START）指令。 分子泵正常运转时，请尽量避免在泵体及控制器附近进行会产生比较大的震动、噪音和磁场的作业，例如冲击钻作业等 每日检点分子泵及控制器的运行状况，如听分子泵声音，查看控制器LCD的显示信息或监视软件上的运转参数，检查真空度和冷却水状况。 Software operation function Trouble shooting-Alarm check 　这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕,抽速范围为几十至十几万升／秒（1升＝10-3米3）。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。 利用高分子量高速运动之蒸气分 子，经由碰撞把动量转移给待抽气体，赋予被抽气体单一方面的动量，并将之排往较高压力之区域。由帮浦底部蒸发的油蒸气往上流动，在每一级的环状喷嘴处以超声速速度(Supersonic Speed)向下喷射，蒸气流离开喷嘴后，略为散开，形如伞状。由帮浦上方填空室扩散而至之气体分于被油蒸气碰撞后，往下移动至较高之压力区域以达到压缩作用，亦即抽气效果，油蒸气最后到达冷卸之帮浦机体内部并被凝结(Condensed)，且往下流回帮浦油槽。单一级喷嘴内油蒸气及被抽气体分子的运动。通常扩散帮浦有3至4个压缩级，待抽气体由最顶端一级逐级被压缩，以至最后出前级帮浦(机械帮浦)抽除。 擴散幫浦早期最擔心的是真空油的回流污染腔體，雖然使用低蒸氣壓的真空油，但是油氣在高溫運作時，難免還是會有油氣回流的現象（見圖4.24）。為了避免該現象,現代的擴散幫浦都附帶一些組件，圖4.25便是該組件的外貌，該組件一般稱之為baffer，該baffer 置於擴散幫浦的上端，藉此將油氣擋下，除此之外加一個cold trap 也是一個非常重要的附件，每次使用擴散幫浦之前便將cold trap 加滿液態氮，如此一來當油氣吸附到cold trap的內部時，便馬上冷卻下來，如此油分子根本無法到達腔體內部。圖4.26便是一般常見的cold trap 的外貌以及與gate valve的組合。 　???????驱动He气通过压缩机的压缩后,以高压形态供给冷冻机,将蓄冷器和气缸的室温侧连在一起,借助切换阀接在He气压缩机的高压与低压侧。此外,再将蓄冷器和气缸切换到低温侧,气缸内有一个活塞连杆,借助曲柄连杆机构上下移动。为使G-M循环冷冻机更小型化紧凑化,在活塞杆内采用了蓄冷器构造 用活塞密封被隔气缸内的压缩气体, 通过活塞的