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硅片过程阳检验培训
对于现场中出现的质量问题,品控员立即告知PQC工程师及带班班长,带班班长要立即停产。QC与生产、工艺人员(必要时请研发人员协助)共同对事故原因进行分析,要立即发放《纠正与预防措施单》,找出发生质量问题的真正原因,制定纠正预防措施。并同时用电话或邮件通知技术质量部主管和生产部主管。发现重大异常立即向技术质量部经理和制造部经理报告。确认是否造成质量事故,如造成质量事故,根据《质量事故的管理规定》执行。 过程检验作业指导书 品控员每隔一小时需对各生产工序的成品监控点进行抽检,并填写相关《巡检记录单》。 过程检验作业指导书 生产各工序员工负责对制绒、扩散、刻蚀、去PSG、PECVD、丝网印刷、烧结、电性能测试等工艺后的碎片进行分拣、收集、记录。 成品终检员负责对外观分拣后的碎片进行分拣、收集、记录。 过程检验作业指导书 谢谢大家! * * 硅片过程检验培训 目录: 1.引言 2.电池片过程检验标准 3.过程检验作业指导书 硅片检验主要分为三类: 1.硅片来料检验 2.电池片生产过程检验 3.电池片出货检验 引言 硅片来料检验设备: 引言 硅片来料检验设备: 引言 硅片来料检验目的: 保证进货的原材料满足规定的要求,防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门) 引言 硅片来料检验主要项目: 1.电学部分: 厚度/电阻率测试 少子寿命测试 引言 2.光学部分: 几何尺寸 垂直性 硅片破裂(包括崩边、裂痕、V型缺口) 表面脏污 空洞和隐裂 引言 相关硅片实例: 引言 电池片生产过程检验目的: 防止过程中出现批次性问题,避免不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程均满足规范要求,保证生产的稳定性及规范性,保证产品效率及成品率。 引言 电池片生产主要过程介绍: 引言 电池片生产过程检验主要相关设备: 引言 主要分为以下几个控制点: 1.前期准备工作检查 2.制绒清洗后; 3.扩散后; 4.等离子刻蚀后; 5.去磷硅玻璃清洗后; 6.PECVD后; 7.丝网烧结后; 8.电池片性能测试分档后。 电池片过程检验标准 前期准备工作检查: 设备开机检查,填写《巡检记录单》; 工艺参数监控:设备各参数达到工艺要求后进行生产。 电池片过程检验标准 各工序关键工艺参数: 制绒清洗:NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度,溶液温度等。 扩散:扩散温度,气体流量等。 等离子刻蚀:射频功率,气体流量等。 电池片过程检验标准 去磷硅玻璃:HF溶液浓度等。 PECVD:气体流量,微波源功率,沉积压力,工艺温度等。 丝网烧结:印刷压力,印刷速度,印刷网板间距,印刷方式,烧结各加热区温度等。 电池片过程检验标准 制绒清洗后: 制绒后硅片外观:硅片表面制绒均匀,无点状亮点 硅片称重:清洗前后重量差在0.6~0.7g 电池片过程检验标准 扩散后: 方块电阻:测量范围在40±5Ω/□ 方阻均匀性:均匀性误差不大于±5% 电池片过程检验标准 等离子刻蚀后: 边缘电阻测量:测量范围在30±10kΩ 刻蚀痕迹(目测) 电池片过程检验标准 去磷硅玻璃清洗后: 电池片外观:扩散面无明显发暗 扩散面疏水性(目测) 电池片过程检验标准 PECVD后: 工艺后外观检测:硅片镀膜面呈均匀蓝色(目测) 氮化硅膜的厚度、反射率、折射率 片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性:不大于±5% 电池片过程检验标准 丝网烧结后: 印刷重量:正银为0.10 g ± 0.02 g; 背银为0.12 g ± 0.02 g; 背铝为0.8 g ± 0.2 g; 电池片外观:满足《成品电池片外观分选标准》要求。 电池片过程检验标准 电池片性能测试分档后: 标准片校准 碎片记录 电池片过程检验标准 一、目的:防止制程中出现批次性问题, 避免不合格品流入下道工序。 二、范围:适用于产品生产过程有关的工序。 过程检验作业指导书 三、职责: 品控员负责对生产过程的监控,对生产工序的巡查,将遇到的问题反馈给PQC工程师。 PQC工程师负责品控员监督、巡检统计表的汇总报告,以及协调生产部,工艺部和设备部解决相关问题。 过程检验作业指导书 四、工作内容: 品控员在每班开始生产前完成对各种测试设备的校准工作,并填写《测试设备校准记录单》。 品控员每隔一小时检查各工序使用《作业指导书》是否正确,操作员是否按照要求进行操作,并填写《巡检记录单》。如发现问
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