第6章压在电式传感器1.pptVIP

第六章 压电式传感器 本章要点： 1.压电元件的压电机理、压电特性 2.压电传感器原理和正确使用方法 3.动态测量工作频率范围确定方法 压电式传感器的工作原理是某些物质的压电效应为基础，它是一种自发电式传感器(物性型，能量转换型)。 压电式传感器是一种典型的“双向传感器”。 具有体积小、重量轻、结构简单、工作可靠、固有频率高、灵敏度和信噪比高等优点。 主要缺点是无静态输出，阻抗高，需低电容低噪声电缆，很多压电材料的工作温度只有250°C左右。 第一节 压电效应 *正压电效应：当沿着一定方向对某些电介质加力而使其变形时，在一定表面上产生电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电的状态。 *逆压电效应：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械应力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。 具有压电效应的电介质称为压电材料。如单晶的石英和人造压电陶瓷的钛酸钡、锆钛酸铅等多晶体。 石英晶体的压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 一、压电效应的表达式 经实验发现，当晶体某一定方向受到应力?，使在某一定表面产生电荷，该面的电荷密度q和?之间有一定的确定关系（正比关系）， 即q=d ? 但由于产生电荷需要面，因此与X、Y、Z三个方向垂直的三个面Sx、Sy、Sz为晶体的电荷面。应力也应该有三个面上的应力和沿X、Y、Z右手旋转方向的剪切应力，故表达式可以写成qi=dij ?j。 dij:j方向的力使得i面产生电荷的压电常数 σj:j方向的力在i面产生的电荷密度 i=1、2、3，分别表示X、Y、Z三个方向。 j=1~6，其中1、2、3表示X、Y、Z方向受到的应力，4、5、6表示X、Y、Z方向上右手旋转的剪切应力。 这样，压电材料的压电特性可用压电常数矩阵表示， 二、压电常数和耦合系数 以上讨论的压电常数dij的物理意义是：在“短路条件”下，单位应力所产生的电荷密度。“短路条件”是指压电元件的表面电荷从一产生就立即被引开，因而在晶体形变上不存在“二次效应”。 实际使用时还有其它压电常数： （一）压电常数g 在“断路条件”下单位应力在晶体内部产生的电势梯度，或者是应变引起的电位移。 gij=dij/?r?0 （二）压电常数h 表示每单位机械应变在晶体内部产生的电势梯度，是关系到压电材料机械性能的参数。 hij=gijE E—晶体的杨氏模量。 （三）机电耦合系数K 它是反映压电材料的机械能与电能之间相互耦合关系的物理量，其值为 K2=由机械能转变而来的电能/输入的机械能（正压电效应） 或： K2=由电能转变而来的机械能/输入的电能（逆压电效应） 机电耦合系数是一个没有量纲的物理量，它与其它压电常数的关系为 第二节 压电材料 明显呈现压电效应的敏感功能材料叫压电材料。 由于是物性型的，因此选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。 主要应考虑以下几方面： a.具有大的压电常数d和g； b.机械强度高、刚度大，以便获得高的固有振荡频率； c.高电阻率和大介电系数； d.高的居里点； e.温度、湿度和时间稳定性好。 1.单晶体 以石英晶体为例。 1）压电机理 X轴：平行于相邻棱面内夹角的等分线，垂直于此轴的棱面上，压电效应最强，故X轴又称电轴。 Y轴：垂直于六边形对边的轴线（即垂直于六边形边线）为Y轴，由于在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显，故Y轴又称为机械轴。 Z轴：在垂直于X、Y轴的方向定义为Z轴，由于沿该方向没有压电效应，且光经过该方向不发生折射，因此该轴称为光轴或中性轴。 当有?1作用时，晶体X、Y、Z方向都产生伸缩变形，但仅在X方向上产生压电效应，而Y和Z方向电偶极距为0。 因此d11?0，d21=d31=0。 当有?2作用时，X方向产生压电效应，但极性与?1相反，而Y和Z方向仍无压电效应。因此 -d11=d12?0 ， d22=d32=0 。 当有?3作用时，不产生压电效应。因为晶体沿X方向和沿Y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。因此 d13= d23=d33=0 。 当?23作用时产生切应变，同时有X方向的伸缩变形，故X方向上有压电效应。因此d14?0， d24=d34=0 。 当?3