工业SPM整体软件设计与三维图像拼接技术的分析.pdfVIP

目 录 第一章 绪论 1 1.1 扫描探针显微镜的研究现状 1 1.2 三维图像拼接技术的研究背景 3 1.3 课题研究意义与主要研究内容4 第二章 系统设计 7 2.1 框架的搭建 7 2.2 系统环境 9 2.2.1 开发平台 9 2.2.2 TCP/IP 11 2.2.3 OpenGL 13 2.3 本章小结 14 第三章 实时扫描（Realtime ） 15 3.1 区域选择模块 15 3.2 粗定位模块 17 3.2.1 标记匹配 17 3.2.2 偏差纠正 18 3.3 电机控制模块 20 3.4 快速扫描模块 22 3.4.1 TCP/IP 连接 24 3.4.2 通信协议 27 3.5 3D 扫描模块 29 3.6 快速逼近模块 30 3.7 视图模块 32 3.7.1 OpenGL 三维视景空间搭建 33 3.7.2 实时调平 35 3.7.3 配色方案 37 3.8 本章小结 39 第四章 图像离线处理（Offfline ） 41 4.1 图像的显示41 4.1.1 平面图41 4.1.2 三维图43 4.1.3 局部图46 4.2 图像的数据统计47 4.2.1 高度概率图47 4.2.2 截面线48 4.2.3 粗糙度 51 4.3 图像后处理 52 4.3.1 线拟合 52 4.3.2 调平 53 4.4 本章小结 55 第五章 三维图像拼接 56 5.1 被测样品与实验流程 56 5.2 图像匹配算法 57 5.2.1 区域选择与灰度拉伸算法 57 5.2.2 区域匹配 59 5.3 图像拼接算法 60 5.3.1 图像翻转算法 60 5.3.2 图像旋转与切割算法 61 5.3.3 图像拼接算法 62 5.4 图像拼接效果评价 62 5.5 本章小结 63 第六章 总结展望 64 6.1 工作总结 64 6.2 工作展望 64 参考文献 66 发表论文和参加科研情况说明 69 致 谢 70 第一章 绪论 第一章 绪论 1.1 扫描探针显微镜的研究现状 SPM （扫描探针显微镜）是所有利用探针移动，通过检测探针与样品之间相 [1] 互作用来获得样品形貌的显微镜的统称 。探针由压电陶瓷驱动器驱动，在样品 表面进行二维或三维的运动且使之间距保持在一定的范围之内（该范围称为近场 范围，一般小于1nm），在该范围内，探针针尖与被测样品表面会产生一个高度 [2] 局域化的场，包括力、电、磁、光等 ，不同的近场作用参数被用来制造不同的 测量仪器，且应用在不同的场合，但它们都是SPM 家族中的一员。 SPM 的系统结构如图