矿物材料现代测望试技术4电子显微镜4.pptVIP

武汉理工大学资环学院 管俊芳 第三部分 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 1 电子光学系统 （1） 1 电子光学系统 （2） 1 电子光学系统 （3） 1 电子光学系统 （4） 1 电子光学系统 （5） 2 信号检测放大系统（1） 2 信号检测放大系统（2） 3 真空系统和电源系统 4 电子显微镜的放大倍数和分辨率 4 电子显微镜的放大倍数和分辨率 4 电子显微镜的放大倍数和分辨率 5 样品制备 第六章 X射线谱仪及微区成分分析 1 波谱仪（1） 1 波谱仪（2） 1 波谱仪（3） 1 波谱仪（4） 1 波谱仪（5） 1 波谱仪（6） 2 能谱仪（1） 2 能谱仪（2） 2 能谱仪（3） 2 能谱仪（5） 3 波谱仪与能谱仪的性能比较（1） 3 波谱仪与能谱仪的性能比较（2） 3 波谱仪与能谱仪的性能比较（3） 3 波谱仪与能谱仪的性能比较（4） 4 成分分析 （1） 4 成分分析 （2） 4 成分分析 （3） 4 成分分析 （4） 4 成分分析 （5） 4 成分分析 （6） 4 成分分析 （7） 作 业 电子显微分析 第六章 X射线谱仪及微区成分分析 如图是用能谱仪得到的某钢定点分析结果。能谱仪中的多道分析器可使样品中所有元素的特征X射线信号同时检测和显示。不像波谱仪那样要做全部谱扫描，甚至还要更换分光晶体。 电子显微分析 第六章 X射线谱仪及微区成分分析 B 线分析 用于测定某种元素沿给定直线分布的情况。方法是将X射线谱仪（波谱仪或能谱仪）固定在所要测量的某元素特征X射线信号（波长或能量）的位置上，把电子束沿着指定的方向做直线轨迹扫描，便可得到该元素沿直线特征X射线强度的变化，从而反映了该元素沿直线的浓度分布情况。改变谱仪的位置，便可得到另一元素的X射线强度分布。 电子显微分析 第六章 X射线谱仪及微区成分分析 下图为50CrNiMo钢中夹杂Al2O3的线分析像。可见，在Al2O3夹杂存在的地方，Al的X射线峰较强。 电子显微分析 第六章 X射线谱仪及微区成分分析 C 面分析 用于测定某种元素的面分布情况。方法是将X射线谱仪固定在所要测量的某元素特征X射线信号的位置上，电子束在样品表面做光栅扫描，此时在荧光屏上便可看到该元素的面分布图像。显像管的亮度由试样给出的X射线强度调制。图像中的亮区表示这种元素的含量较高。 电子显微分析 第六章 X射线谱仪及微区成分分析 下图为34CrNi3Mo钢中MnS夹杂物的能谱面分析图像。 （a）S的面分析像 (b) Mn的面分析像 * * 电子显微分析 电子显微镜一般由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 电子光学系统由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。 其作用是用来获得扫描电子束，作为产生物理信号的激发源。 为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 1电子枪： 其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。 目前大多数电镜采用热阴极电子枪（钨丝）。其优点是价格便宜，对真空度要求不高，缺点是电子发射效率低，发射源直径较大，在样品表面上的电子束斑直径最小为5-7nm。现在，高等级电镜采用六硼化镧（LaB6）或场发射电子枪，使二次电子像的分辨率达到2nm。但这种电子枪要求很高的真空度，并且价格昂贵。 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 2电磁透镜 其作用主要是把电子枪的束斑逐渐缩小，是原来直径约为50mm的束斑聚焦成一个只有数nm的细小束斑。 其工作原理是电磁聚焦。一般有三组透镜，前两个为强透镜，用来缩小电子束光斑直径。第三个是弱透镜，具有较长的焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 3扫描线圈 其作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫描信号。 扫描线圈是电子显微镜的一个重要组件，它一般放在最后二透镜之间，也有的放在末级透镜的空间内。 电子显微分析 第五章 电子显微镜的结构 4样品室 样品室中主要部件是样品台。可进行三维空间的移动，及倾斜和转动，样品台移动范围一般可达40毫米，倾斜范围：0－50度左右，转动角度：360度。 样品室中还要安置各种信号检测器。信号的收集效率和相应检测器的安放位置有很大关系。样品台还可以带有多种附件，例如样品在样品台上加热，冷却或拉伸，可进行动态观察。 样品台可放置的最大样品：直径2cm、高度1cm。 电子显微分析 第五