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深圳瑞华泰薄膜科技有限公司设备操作规程－真空系统 PAGE 3 / NUMPAGES 4 深圳瑞华泰薄膜科技有限公司 设备操作规程 文 件 号： 版 本： 实施日期： 2009/10/30 控制密级： 真空系统 存放位置 真空机房 适用范围 本规程适用于深圳瑞华泰薄膜科技有限公司真空系统的操作。 组成部分 真空系统是由JZJB300/150罗茨真空泵旋片真空泵机组、真空缓冲罐、冷凝器、管道及管道附件阀门系统组成。 工具备件： 梅花或开口扳手一套、螺丝刀（一字和十字）一套、内六角扳手一套、管钳、铜棒、布手套。 开机准备 检查机房的通风情况，开启窗户。 打开真空缓冲罐排污阀，排去罐内污水。 观察各泵油窗油位是否正常，按各泵使用说明书要求加油。 清理工作现场，检查缓冲罐、各种管道、阀门、仪表有无异常、漏气。 用手转动罗茨真空泵应灵活无卡住现象，否则不能启动。 用手转动旋片真空泵，使泵腔内的油返回到油箱。 确定所开真空机组型号。 微开旋片泵气镇阀。 开启冷凝器的冷冻水进出口阀门，检查水路是否畅通；检查循环水水压是否正常，水路是否顺畅，一般将水压继电器或电接点压力表调节到1.5～2×105Pa压力。 打开机组循环水进水阀门，打开各泵循环水进水阀门调节好流量，如未通水或水压不够，机组无法开启。 运行操作 打开控制柜电源开关，机组通电。 打开空气阀门VV01，VV02（或VV03）。 启动真空系统，分为手动控制和自动控制两种方式: 机组手动控制， 将“手动、自动”开关板至“手动”位置。 按1＃真空泵绿色按钮，1＃指示灯亮，旋片真空泵已经启动。 当系统压力达到罗茨真空泵入口处压力，达到了电接点真空表（或者真空继电器）设定压力（133×102Pa以下）时，自动灯指示灯亮。 按2＃真空泵绿色按钮，2＃灯指示灯亮，罗茨真空泵启动，开始工作。 机组自动控制 将“手动、自动”功能开关板至“自动”位置。 按1＃真空泵绿色按钮，1＃指示灯亮，启动旋片真空泵。 当系统压力达到了罗茨真空泵入口处电接点真空表（或真空继电器）设定压力时，自动灯指示灯亮，随即自动起动2＃真空泵，2＃指示灯亮。 停车作业 停机前全面记录一次设备运行参数. 停机操作分为两种：手动控制和自动控制停机操作。 手动控制状态停机: 按下2＃罗茨真空泵红色按钮。 按下1＃真空泵红色按钮。 泵停止工作。 自动控制状态停机 将“自动“位转换到“手动”位。 停止2＃真空泵的工作。 按下1＃真空泵红色按钮。 泵停止工作。 关闭旋片泵的气镇阀。 关闭循环水进水阀门。 关闭空气阀门VV01、VV02（或VV03）。 关闭供电电源。 关闭真空冷凝器的低温水阀门。 打开缓冲罐的排污阀PW01，排出缓冲罐内的凝结液。 清理机房。 注意事项 设备运转时不得松开管路或打开无关的阀门； 设备运行时如出现异常声音、振动或漏油应立即停机； 系统使用的安全阀、压力表必须进行周期检定并在检定周期内使用； 阀门开启均应缓慢操作，避免气流冲击损坏后续装置； 不得出现罗茨泵的入口压力高于1500Pa； 旋片泵可单独工作，罗茨泵不可单独工作； 在“自动”操作时，旋片真空泵启动后，罗茨泵自动启动工作，在正常运转情况下，无法关闭罗茨泵，停机时只能同时关旋片泵及罗茨真空泵，如要单独关罗茨泵只能将选择开关拨至“手动”位置。 冷却水进出水的温差应小于5℃。，出水温度应低于40 应急处理 运行时出现故障控制器立即停止设备运行，需排除故障状态后才能重新启动设备。 紧急情况下切断控制柜电源； 遇停电，关闭控制柜电源。 润滑保养 保持真空泵润滑系统清洁、畅通。 经常检查曲轴箱的油面，需加油即行补足；各润滑部位的润滑油是否符合；规定每班向油杯和黄油杯加注润滑油润滑脂。 经常检查进水或进气阀是否畅通或泄漏。 每班必须检查各部紧固螺栓,不得有松动现象,并进行必要的紧固。 随时检查真空表的读数是否正常。 随时注意观察设备运转有无异常声响或振动,发现问题必须及时处理。 保持周围环境整洁,设备见本色。 编制： 审核： 批准：