低温氧等离子体处理对单层石墨烯断裂韧性和粘附特性的影响研究-机械电子工程专业论文.docxVIP

词 词 汕叫陆冲 击 本人郑重声明:所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究 工作所取得的成果。除文中己注明引用的内容以外，本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的作品成果，也不包含为获得江苏大学或其他教育机构 的学位或证书而使用过的材料。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己 在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名:守海荔 10 16 年七月 5 日 / 记 记 汕叫陆冲 击 江苏大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、中国学术期刊(光盘版) 电子杂志社有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、 缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致， 允许论文被查阅和借阅，同时授权中国科学技术信息研究所将本论文编入《中国 学位论文全文数据库》并向社会提供查询，授权中国学术期刊(光盘版)电子杂 志社将本论文编入《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》并向社会提供查询。 论文的公布(包括刊登)授权江苏大学研究生处办理。 本学位论文属于不保密团。 学位论文作者签名:呻海荔 117lbIcf. 6 月与日 时阳:头才代) Wb年 L 月主日 / 万方数据 万方数据 江 苏 大 学 硕 士 学 位 论 文 摘要 单层石墨烯是一种完全由碳原子组成的零带隙二维晶体材料，具有优越的机 械性能、高比表面积和超高的电子迁移率等优异性质，在超级电容器、柔性显示 屏、防腐蚀材料和散热材料等领域具有较大的发展空间。自石墨烯被发现以来， 已有很多关于低温氧等离子体处理对石墨烯改性的研究，然而很少有研究低温氧 等离子体处理后石墨烯的粘附力与断裂韧性的报道。而在石墨烯的应用中，粘附 力和断裂韧性对石墨烯基器件都有着不可忽视的作用。本文详细介绍了石墨烯的 基本性质、应用和制备方法。通过光学显微镜、X 射线光电子能谱仪（X-ray photoelectron spectroscopy，XPS）、拉曼（Raman）光谱仪和原子力显微镜（Atomic force microscope，AFM）研究了低温氧等离子体处理对单层石墨烯断裂韧性和粘 附力的影响。 采用化学气相沉积法制备单层石墨烯，并将其转移至氧化层厚度为 90 nm 的 SiO2/Si 基底上。运用 XPS、Raman 和 AFM 表征了低温氧等离子体处理前后的样 品。在样品的 XPS 图谱中，发现低温氧等离子体处理向石墨烯中引入了较多的 C-OH 和 C=O 官能团。在样品 Raman 光谱中，低温氧等离子体处理后，出现了明 显的 D 峰和 D′峰，并且其强度和 ID/IG 的值与处理时间成正比；同时，随着处理 时间的增加，G 峰向高波数移动，2D 峰向低波数移动，并且 2D 峰的强度减弱， 半高宽也越来越大。根据拉曼光谱的变化发现，低温氧等离子体处理向石墨烯中 引入了 n 型掺杂和较多的缺陷，且随着处理时间的增加，缺陷密度增加，晶粒细 化，无序度增加；同时，低温氧等锂离子处理还向石墨烯中引入了拉应变，且随 着处理时间的增加，拉应变变大。对低温氧等离子体处理前后石墨烯微观结构的 研究将为后续实验的结果提供理论支撑。 在样品的 AFM 图中，随着低温氧等离子体处理时间的增加，样品表面的粗糙 度和粘附力越来越大，且其变化与上述 C-OH 官能团的变化一致；同时，样品的 断裂韧性越来越小。经过理论分析，C-OH 官能团的增加使原本具有憎水性的样品 亲水性越来越强，从而使得低温氧等离子体处理后的样品表面的粗糙度与粘附力 越来越大。而样品表面吸附的来自空气中的水分子会使得样品表面产生应力腐蚀， I 万方数据 万方数据 低温氧等离子体处理对单层石墨烯断裂韧性和粘附特性影响的研究 另外，低温氧等离子体处理向样品中引入了拉应变，这两者共同导致了样品断裂 韧性的减小。研究结果将为低温氧等离子体处理后的石墨烯应用于器件提供一定 的理论基础。 关键词：石墨烯，低温氧等离子体，微观结构，断裂韧性，粘附力 II 万方数据 万方数据 江 苏 大 学 硕 士 学 位 论 文 ABSTRACT Graphene is a two-dimensional, zero bandgap material completely composed of carbon atoms, which has large development space in the field of super capacitor, flexible display, corrosion protection materials and thermal materials due to its unique properties, such as exce