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对称解耦式三自由度并联微动平台的设计-宁波大学学报
313, 20185
Vol.31 No.3, May 2018 JOURNAL OF NINGBO UNIVERSITY ( NSEE )
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39.73 nm140.95 nm, z 0.89 μrad.
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2 , 15 μm, 1 nm. Lai
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