四波横向剪切干涉波前重构技术研究-光学工程专业论文.docxVIP

研究生优秀毕业论文 声 声 明 本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在 本学位论文中，除了加以标注和致谢的部分外，不包含其他人已经发 表或公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学 历而使用过的材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均 己在论文中作了明确的说明。 研究生签名：刍豪兰2氩力沙年弓月碉 学位论文使用授权声明 南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅 或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以向有关部门或机构送 交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对 于保密论文，按保密的有关规定和程序处理。 硕士学位论文 硕士学位论文 四波横向剪切干涉波前重构技术研究 摘 要 四波横向剪切干涉波前检测技术可满足瞬态波前检测的需求，对波前进行实时高精 度测量，但四波横向剪切干涉图包含的仅是待测波前的差分相位信息。针对如何从四波 横向剪切干涉图中精确并快速地重构出待测波前这一问题，展开了相关研究，提出了一 套完整的波前重构方案。 首先，研究了四波横向剪切干涉的基本原理，结合瞬态波前检测的需求，确定了波 前重构的整体方案。 第二，研究了基于傅里叶变换的四波横向剪切干涉图差分相位提取方法。为减小由 频谱泄露引起的相位提取误差，详细分析讨论了干涉图相位提取过程中滤波器的设计和 干涉图的延拓问题。 第三，研究了由两正交方向差分波前恢复待测波前的傅里叶模式波前重构算法。采 用对差分波前进行镜像反对称延拓的方法，消除了重构过程中由于边界不连续引入的低 频误差。对一包含多种波像差、幅值为l五的待测波前四波横向剪切干涉图进行了波前 重构仿真，其误差分布的RMS值为3．97X10．3旯，PV值为4．67×10。’五，证明了整套波前 重构算法的有效性。 最后，搭建了四波横向剪切干涉波前检测装置，测量了干涉仪标准镜头的出射波前， 并将其结果与法国Phasics公司研制的SID4波前传感器的测量结果进行了比对。两者波 前测量结果的R_MS、PV值及35项Zemike多项式系数的吻合程度较高，验证了本四波 横向剪切干涉波前检测方案及波前重构算法在实际波前检测中的可行性和有效性。 关键词：光学干涉测量，瞬态波前检测，四波横向剪切干涉，波前重构，傅里叶变换 Abstract Abstract 硕士学位论文 Abstract Meeting the requirements of transient wavefront sensing，four-wave lateral shearing interferometry carl be used for real—time wavefront testing诵m 11igh precision．But诵血the method，only the differences of the wavefront are measured and the wavefront cannot be obtained directly．A full set of algorithms is presented for wavefront reconstruction from one single four-wave lateral shearing imerferogram using which the phase distribution Call be retrieved effectively and accurately． Firstly,in order tO determine the whole reconstruction process，basic principles of four-wave lateral shearing interferometry have been studied． Secondly,the method based on Fourier transform is applied tO shearing imerferogram tO extract the differences of two orthogonal directions．To reduce the error ca