《J BT9125-1999-立式涡轮分子泵》.pdfVIP

ICS23.160 J78 中华 人 民共和 国机械 行业标 准 JB/T 9125一 1999 立 式 涡 轮 分 子 泵 Vertical加rbomolecularpump 1999-07-12发布 2000-01-01实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/T 9125- 1999 前 言 本标准是对ZBJ78015.1-89立《式涡轮分子泵 型式与基本参数》和ZBJ78015.2-89 立《式 涡轮分子泵 技术条件》进行的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有改变。 本标准自实施之日起代替ZBJ78015.1-89和ZBJ78015.2-890 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位:沈阳真空技术研究所、南光机器厂。， 本标准主要起草人:李玉英、李春影、冯慧生。 本标准于 1989年首次发布。 中华人 民共和 国机械行业标准 JB/T 9125- 1999 立 式 涡 轮 分 子 泵 代替 ZBJ78015.1一89 ZB 178015.2一9 Verticalturbomolecularpump 1 范围 本标准规定了立式涡轮分子泵的型式。基本参数，技术要求，试验方法，检验规则。标志、包装、 运输和贮存等。 本标准适用于具有前级泵 、变频电源的立式涡轮分子泵 (以下简称泵))o 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本 均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB191-1990 包装储运图示标志 GB/C4982-1985 夹紧型真空快卸法兰 GB/T6070-1995 真空法兰 GB/T6071-1985 超高真空法兰 GB/T6587.1-1986 电子测量仪器 环境试验总纲 BFG/ 6587.2-1986 电子测量仪器 温度试验 GB/T6587.3-1986 电子测量仪器 湿度试验 GB/T6587.4-1986 电子测量仪器 振动试验 GB/T6587.5-1986 电子测量仪器 冲击试验 GB/T6587.6-1986 电子测量仪器 运输试验 GB/T7774-1987 涡轮分子泵 性能测试方法 GB/T 13306-1991 标牌 JB/T5278-1991 铜丝密封可烘烤真空法兰 JB/T8106-1999 容积真空泵噪声测量方法 JB/T8107-1999 容积真空泵振动测量方法 3 定义 本标准采用下列定义。 3.1抽气速率 泵在正常工作条件下，单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积，即气体流量与 测试罩规定位置测得的平衡压力之商。 3.2 极限压力 国家机械工业局 1999-07-12批准 2000-01-01实施 1 JB/T 9125- 1999 泵在规定的工作条件下，不向测试罩引人气体.泵壳和测试罩经烘烤后48h内在测试罩规定位置 测得的平衡压力。 3.3压缩比 通过泵进气口的气流量为