基于压电叠堆的大力矩微位移平台研究-电气工程专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 摘要摘 摘要 摘 要 作为精密工程和精密仪器关键技术之一的高精度微位移技术在大规模集成电路的 制造与检测、生物芯片技术、纳米技术、光学组件定位、光纤对接、微电子产品制造、 精密和超精密加工、精密操作、精密测量、生物医学工程、材料表面原子结构分析等许 多尖端领域的应用越来越广泛。微位移定位技术的发展与国家在国防军工和国民经济领 域的进步息息相关，它的各项技术指标是各国高科技发展水平的重要标志。随着微电子 技术、通讯技术和超精密加工等技术的高速发展，对精密定位技术的要求越来越高，有 些应用领域要求系统具有纳米级的分辨率，亚微米甚至纳米级的重复定位精度。因此， 微位移工作平台被要求具有大行程、高精度、小体积和快速响应等技术要求。 论文首先，对课题研究的重要性和意义进行阐述，并对微位移平台的构成、国内外 的研究现状，以及论文的研究内容进行介绍。 其次，介绍了压电材料的压电效应与压电方程、压电陶瓷的参数特性和压电叠堆的 工作原理和基本特性。对有限元分析方法进行了阐述，并在此基础上，利用有限元分析 软件ANSYS对压电叠堆进行建模，对其位移输出特进行了分析。结果表明，在一定条 件下，压电叠堆的输出位移与所施加的电压呈良好的线性关系，且一定长度的压电叠堆， 压电陶瓷片越薄，输出位移越大。 第三，针对压电叠堆位移输出量小的特点，提出了位移放大机构方案，设计了基于 正交三角放大原理的压电叠堆钹型位移放大致动器。介绍了放大机构的工作原理。运用 静力学分析方法和能量法，对位移放大机构的工作特性进行计算分析；运用ANSYS有 限元软件，对位移放大机构从静态和动态两个方面进行计算分析。对位移放大致动器的 静态和动态特性进行测试分析。理论分析和实际测试都证明基于正交三角放大原理设计 并制造的压电叠堆位移放大致动器不仅能提供较大的输出位移和输出力矩，而且具有优 秀的静态和动态特性，完全能用作微位移平台的驱动器。 第四，利用压电叠堆和三角放大原理设计并制造了～个高精度、大力矩、响应快速 的微位移平台。利用有限元分析了这一平台的位移和应力变化情况，以及平台的振动模 态和动态特性。同时，运用激光测试的方式，对这个平台的特性进行测试。通过静态特 性测试和动态特性测试，可以看出这个微位移平台能稳定快速地输出较大位移。针对在 特性测试中，压电材料的滞后和蠕动特性提出有效的控制方式，实现快速准确的定位。 运用LabVIEW对基于压电叠堆微位移平台的驱动系统进行设计开发。分别对开环控制、 增量型PID的闭环控制和基于MatLab实现的神经网络PID闭环控制三种定位控制策略 进行了设计和分析。 最后，实验结果表明，相比开环控制，PID的闭环控制在不影响微位移平台响应速 度的基础上，克服了压电材料的滞后和蠕变影响，因此定位的精度和准确性都能得到很 好的保证。而基于BP神经网络PID参数自整定可以避免人工参数整定的繁琐和不及时， 万方数据 东南大学博士学位论文进一步提高了这一微位移平台驱动系统的实用性和定位的准确快速性，值得进一步在实 东南大学博士学位论文 进一步提高了这一微位移平台驱动系统的实用性和定位的准确快速性，值得进一步在实 际中进行开发应用。 论文从微位移平台的构成出发，从压电叠堆，到基于三角放大原理的钹型位移致动 器，再到微位移平台，从理论分析、样机制作和实验测试等多反面多角度对微位移平台 进行阐述。同时，考虑到压电材料的磁滞和蠕变等特性，针对微位移平台研制了带闭环 的驱动控制系统。最终研制出一种具有高精度、大行程、大力矩、响应快速的微位移平 台。外形尺寸1 15mm×1 1 5mm×20mm，最大位移量140 u m X 140 11 m；重复精度±0．02 1．t m，最大负荷250N。 关键词：压电叠堆，微位移平台，三角放大，静动态分析，闭环驱动 万方数据 AbstractAbstract Abstract Abstract High precision micro displacement technology is one of the key technologies of precision engineering and precision instrument．The micro displacement technology is widely applied in the manufacturing and testing of large scale integrated circuit，biology chip technology，nano technology，position of optical components，fiber connection， microelectronic product