铝膜材料在温度场作用下的变形研究-光学专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 Abstractanalysis Abstract analysis is given by the second heating low temperature deformation insensitive features． Through the metal aluminium film reflectors of Daheng new epoch Technology Co， Ltd，silver film reflector，test，application of digital scattered speckle correlation method， the deformation of two kinds of metal film audience analysis and get some meaningful results，can provide the experimental basis for the plating membrane material design， device fabrication and evaluation and other aspects． Keywords：Digital Speckle Image Correlation Method；Thin Film；Temperature Effect；Deformation 万方数据 黑龙江大学硕士学位论文目录 黑龙江大学硕士学位论文 目录 中文摘要 ．I Abstract ． ．． ．．II 第l章绪论 1 1．1课题的来源、背景及意义 l 1．2数字散斑相关方法概况 ．2 1．3文章内容及安排 ．．4 第2章数字散斑相关方法及其实验技术 ．5 2．1方法 5 2．1．1发展概述 5 2．1．2测量原理 ．．6 2．1．3操作过程 8 2．2计算方法 l O 2．3数值搜索 ll 2．3．1金字塔数值搜索法 ll 2．3．2邻域搜索法 ll 2．4灰度信息搜索 12 2．5应变计算 1 4 2．6小结 16 第3章实验装置及制斑工艺 1 7 3．1铝膜反射镜 17 3．2加热装置 l 7 3．3散斑标记点制作方法 l 8 3．3．1引言 ．1 8 3．3．2散斑标记使用材料 1 9 3_3．3标记点的生成方法介绍 20 万方数据 目录3 目录 3．3．4新的模拟散斑图制作 21 3．3．5散斑制作介绍 22 3．4实验方法 ．24 3．4．1引言 ．．24 3．4．2实验装置 ．24 3．5小结 ．26 第4章铝膜在温度场作用下的变形实验及结果分析 ．．28 4．1均匀温度场膜变形实验结果及分析 ．．28 4．1．1均匀温度场铝膜变形实验结果及分析 28 4．1．2均匀温度场银膜变形实验结果及分析 33 4．2均匀温度场金属膜二次加热变形实验结果分析 ．37 4．3均匀温度场银膜破坏实验结果及分析 ．．40 4-3．1蒸镀膜层与基底附着力 40 4．3．2银膜破坏过程 ．41 4．3．3银膜破坏过程数据分析 42 4．4本章小结 ．47 结论 ．48 参考文献 49 致i射 54 独创性声明 55 万方数据 第1 第1章绪论 第1章绪论 1．1课题的来源、背景及意义 随着科技的深入发展，膜材料作为应用十分广泛的一类材料，在电子技术、 微电子工业应用、能源科学、信息技术以及国防科技等研究领域中的应用越来越 广泛。近年来，伴随科技发展，更多关于膜结构的应用见诸报道。金属薄膜的应 用领域己从传统电子工业，发展而扩展到微电子行业、太阳能行业、半导体多相 催化技术、光磁记录等领域，而且在众多学科的边缘上，又出现了许多新的科技 热点，得到众多科研人员注意。金属薄膜作为一种重要结构单元，在微电子学以 及MEMS中有很多重要应用，随着研究的不断深入，金属膜结构的可靠性受到极 大关注，因膜结构的机械特性、材料特性的巨大影响，使研究不断加深。然而因 膜结构具有十分复杂的特性：例如材料晶粒大小，试样大小，膜结构残余应力， 应变，以及基底材料的影11向[11，在纳米尺度下金属薄膜的显性基底材料的影响还与 温度场以及应变有很大相关性；前述的各种因素，在温度提升的情况下，影响效 果加重。然而现有的测试方法并不能够对膜结构的变形信息进行充分表征，且由 于温度效应拥有许多应用前景。例如：RE．MEMS开关，能够实现对于-40。到1200C 的开关作用。对于膜结构在温度场作用下的变化过程研究，显得尤为重要。因此， 本文探索了一种利用数字散斑相关方法对膜结构在温度场作用下的变形进行测试 的方法，以期对膜结构的温度特性进行全面的测试。 在实际应用中，固体物质材料经过电子束蒸发，磁控溅射的作用，在基底表 面形成光学薄膜