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水溶性丙烯酸酯类感光干膜的制备及其性能研究
第 卷 第 期 影 像 科 学 与光 化 学
年 月
论 文
水溶性丙烯酸酯类感光干膜的制备及其性能研究
李伟杰 周光大 李伯耿
杭州福斯特光伏材料股份有限公司浙江 杭州
浙江大学 化学工程与生物工程学院浙江 杭州
摘 要用溶液聚合法合成了水溶性丙烯酸树脂并以该树脂为成膜物质制备了水溶性感光干
膜傅立叶红外光谱和 分析表明丙烯酸树脂中不含 不饱和双键基本不参与
紫外光固化反应感光干膜性能测试表明干膜中丙烯酸树脂的酸值及重均分子量会影响干膜
的解析度和附着力等性能进一步的研究表明曝光能量感光级数和显影时间也会直接影响
干膜的性能以 厚度干膜 为例为获得较好的性能丙烯酸树脂中甲基丙烯酸含量范
围为 重均分子量范围为 曝光能量设定
感光级数为 显影时间 在此条件下干膜的解析度可以达到 附着
力为 干膜线路的侧边形貌和尺寸稳定性良好此外感光干膜中丙烯酸酯的比例和种
类也会影响干膜的各方面性能通过调节干膜中各组分含量的比例可以优化干膜性
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