不同真空度下石墨硬毡热流计法高温导热系数测量.pdf

稳态热流计法测试技术应用——Application Note ：005 不同真空度下石墨硬毡热流计法 高温导热系数测量 Effective Thermal Conducitivity Measurements of Rigid Graphite felt In the Vacuum Using Heat Flux Method 上海依阳实业有限公司 上海依阳实业有限公司—— 摘要：石墨硬毡具有优异的高温隔热效果和稳定性，被广泛应用于高温热处理炉、烧结 炉和硅单晶炉等领域。本文主要介绍了石墨硬毡的隔热性能测试，首先采用瞬态平面热源法 进行了常温常压下的导热系数测量，然后再采用稳态热流计法在高温常压氮气环境下测试了 石墨硬毡的高温导热系数，最后在氮气气氛中，同样采用稳态热流计法测试了不同温度和不 同真空度下的导热系数。通过测试揭示了在氮气气氛下石墨硬毡隔热材料导热系数随温度和 真空度的变化规律。采用稳态热流计法进行测试使得整个测试过程更接近于石墨毡隔热材料 真实的大温差隔热工况，测试结果更具有代表性和指导意义。 1. 石墨硬毡简介 石墨硬毡是在石墨软毡的基础上，使用少量连接剂制成各种任意形状后，经高温石墨化 处理而形成的成形隔热材料。由于其重量轻，可独立，又可进行复杂加工，从而大大改善了 原有的作业环境和可操作性。同时它还能进行各种表面处理，与软毡相比它的发尘量大大降 低，而使用寿命大大延长，且具有优异的隔热效果和高温稳定性，石墨硬毡以其优异的性能， 广泛应用于绝大部分高端市场，包括太阳能行业，半导体单晶硅行业，人工晶体行业，光纤 行业，高端真空烧结炉、热处理炉等行业。 石墨硬毡主要性能特点： （1）石墨硬毡热处理温度高（处理温度约2250 ℃以上），具有低收缩率，低挥发物释放 量等优点； （2 ）灰份低，纯度高，经纯化后的高纯硬毡灰份小于20ppm，保证了热场的纯净度； （3 ）低导热系数、隔热效果好、节能，产品质量的一致性好； （4 ）纤维基体，保证绝热性能均匀，同时温场稳定性能好。 图 1-1 各种工艺形式的石墨硬毡 第1 页 上海依阳实业有限公司—— 如图 1-1 所示，石墨硬毡可以根据所需的隔热性能和使用要求，采用不同的工艺手段和 表面处理方式，形成多种产品形式和任意形状设计，结合使用条件，以达到自由的隔热效果 设计。 2. 石墨毡高温导热系数测试国内外文献综述 石墨硬毡最主要的物理性能参数之一是导热系数，特别是高温下的导热系数。由于石墨 硬毡的抗氧化能力差而只能用于真空和各种惰性气体环境下，所以对于石墨硬毡还需要了解 在不同气体和不同真空度下的导热系数。 另外，石墨硬毡做为隔热材料使用，一定是石墨硬毡的一面承受高温，而另一面温度很 低基本在常温附近，也就是说实际隔热工况一定是石墨硬毡厚度方向上形成一个较大温差或 温度梯度，温差或温度梯度会随着隔热温度的提高而逐渐增大。 为了准确测试评价石墨硬毡的隔热性能，测试中试样的边界条件必须要与石墨硬毡实际 环境条件尽可能相同，必须要保证的边界条件包括温度、温度梯度、环境气氛真空度和环境 气体成分。由此可见，对于石墨硬毡这类高温易氧化的隔热材料导热系数测量，必须在真空 密闭环境中进行，以便于抽真空或充不同种类的惰性保护气体，同时还需配备相应的真空度 控制系统。在具体的测试过程中同时还要求，被测试样的受热面温度尽可能高，被测试样的 冷却面则始终处于室温附近。 由于石墨毡类材料所具有的低密度、耐高温、易氧化的特殊性，这类材料的导热系数测 试只能在高温真空环境下进行测试，对测试设备的要求非常高，相应的研究文献并不多，很 少有文献对石墨毡的导热性能测试进行过详尽的报道，也很少有不同测试条件下的测试结果 详尽报道，就连石墨硬毡生产厂商也没有报道出相应数据的测试方法描述。这里只简单介绍 Chahine