纳米尺度多栅场效应管物理特性及模型研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 目录 目录 5 .1 电 势 模 型 - 3 1 - 5 .2 势 垒 隧 穿 - 3 3 - 5 .3 分 析 与 讨 论 - 3 7 - 5 .4 本 章 小 结 - 4 5 - 第 六 章 纳 米 尺 度 器 件 建 模 ：非 平 衡 格 林 函 数 法 - 4 6 - 6 .1 薛 定 谔 方 程 - 4 6 - 6 .2 非 平 衡 格 林 函 数 法 - 4 8 - 6 .2 .1 沟 道 中 的 掺 杂 原 子 - 4 8 - 6 .2 .2 求 解 泊 松 方 程 - 5 1 - 6 .2 .3 边 界 条 件 - 5 2 - 6 .3 分 析 与 讨 论 - 5 5 - 6 .4 本 章 小 结 - 5 9 - 第 七 章 总 结 与 展 望 - 6 0 - 7 .1 ^ - 6 0 - 7 .2 顧 - 6 1 - 参 考 文 献 - 6 2 - 附 录 I M E D IC I 输 入 文 件 - 6 6 - 附 录 II M atlab 输 入 函 数 - 6 8 - 攻 读 硕 士 学 位 器 件 所 发 表 的 论 文 - 70 - - 7 i - V 第一章 引言第 第一章 引言 第 一 章 引 言 随 着 集 成 电路 的 发 展 ，其 应 用 的 广 度 、深 度 已经 渗 透 入 到 各 个 行 业 。集 成 电路 不 仅 在 性 能 方 面 有 了大 幅 度 的提 升 ，器 件 的 尺 寸 也 正 在 随着 摩 尔 定 律 在 逐 年 减 小 ，单 颗 芯 片 上 集 成 的 晶 体 管 数 也 呈 指 数 次 增 长 。 器 件 尺 寸 的缩 小 会 带 来 各 种 各 样 的难 题 ，在 过 去 的几 十 年 里 ，单 个 器 件 的尺 寸 （特 征 尺 寸 ） 已经 从 大 约 红细 胞 大 小缩 减 到 可 以和 病 毒 相 比拟 。在 半 导 体 技 术 发 展 的 几 十 年 时 间 里 ，器 件 的 结 构 、所 使 用 的 工 艺 技 术 已经 发 生 了翻 天 覆 地 的 变 化 。这 些 都 引 起 了我 们 对 集 成 电路 器 件 更 多 的 重 视 。 本 章 首 先 介 绍 了器 件 发 展 以及 目前 所 面 临 的 主 要 问题 。然 后 ，对 多 栅 器 件 和 新 型 工 艺 材 料 的发 展 进 行 简 要 介 绍 。最 后 ，提 出本 论 文 工 作 的主 要 意 义 和 创 新 ，概 括 了本 文 的 组 织 框 架 。 1 .1 场 效 应 晶 体 管 的 发 展 自从 1947 年 ，J. B ardeen 和 W . H . B rattain 发 明第 一 个 三 极 管 开 始 ，从 此 半 导 体 产 业 开 始 迅 速 腾 飞 。 19 65 年 ，英 特 尔 （In tel) 创 始 人 之 一 戈 登 ?摩 尔 （G ordo n M oore ) 提 出摩 尔 定 律 。其 内容 为 ：集 成 电路 的 集 成 度 约 每 隔 18 个 月翻 一 番 ，性 能 也 将 提 升 一 倍。这一定律揭示 了集成 电路发展的速度[1]。 近 年 来 ，随 着 集 成 电路 性 能 、规 模 的 飞 速 发 展 ， 半 导 体 工 业 正在 面 临着 巨大 的挑 战 。 目前 ，器 件 的 发 展 主 要 是 依 靠 新 的 工 艺 材 料 、技 术 ， 以及 新 的器 件 结构 来 努 力 使 集 成 电路 继 续 沿 着 摩 尔 定 律 前 进 。 1.1.1 等 比例 缩 小 经 过 多年 的 发 展 ，数 字 集 成 电路 的集 成 度 和 计 算 复 杂 度 较 之 半 个 世 纪 前 有 了惊 人 的提 高 ，而 这 一 伟 大 变 革 主 要 依 赖 于 器 件 制 造 工 艺 的 改 进 。现 在 ， 一 个 芯 片 上 可 实 现 的 晶 体 管 的 沟 道 长 度 —— 特 征 长 度 不 断 的 缩 小 ， 而 也 这 正 是 集 成 电路 一 次 又 一 次 飞 跃 的 基 础 。 19 7 4 年 ，R .D enn ard 首 次 提 出 M O S 管 的 等 比例 缩 小 理 论 ，器 件 特 征 长 度 的 缩 小 要 遵 循 等 比例 缩 小 的原则 。等 比例缩 小 主要 分 为 以下两 种 模 式 ：恒 电场 缩 小 （C E 规 则 ）， 恒压缩小 （V E 规则 ）[2]。所谓的恒 电场缩 小：一般是指维持沟道 中电场强度 不变 ，依 照 这 一 原 则 ，按 比例 因 子 减 小或 者 增 加 器 件 的 各