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毫米级栅型电场分布FEP薄膜驻极体的制备及其电荷存储-物理学报
毫米级栅型电场分布FEP薄膜驻极体的制备及其电荷存储性能研究
张林成 陈钢进 肖慧明 蔡本晓 黄华 吴玲
Preparation and charge storage property of FEP thin film electret with grid electric field distribution in
millimeterscale
ZhangLin-Cheng ChenGang-Jin XiaoHui-Ming Cai Ben-Xiao Huang Hua WuLing
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,237701(2015) DOI: 10.7498/aps.64.237701
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.237701
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I23
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物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 23 (2015) 237701
毫米级栅型电场分布FEP薄膜驻极体的制备及其
电荷存储性能研究
张林成 陈钢进 肖慧明 蔡本晓 黄华 吴玲
(杭州电子科技大学驻极体及其应用实验室, 杭州 310018)
( 2015 年6 月15 日收到; 2015 年8 月23 日收到修改稿)
采用电晕注极和热注极技术, 在厚度为25 m 的氟化乙丙烯共聚物(FEP) 表面制备了宽度为2 mm 和3
mm 的具有栅型电场分布的驻极体, 研究了注极温度和电极宽度对其电荷存储性能的影响. 样品注极后经150
天的存储, 栅型电场分布变得清晰而有规律, 覆盖铝电极区电位已衰减至接近零, 未覆盖铝电极区仍保持高电
位; 对电极宽度为2 mm 和3 mm 的样品, 覆盖铝电极区与未覆盖铝电极区的表面电位差分别为110 V 和130
V( 电场强度差分别为44 kV/cm 和52 kV/cm). 表面电位跟踪测试结果表明: 电晕注极样品初始表面电位高
于热注极样品; 在相同的注极方法下, 注极温度越高初始表面电位越高, 电极宽度越小初始表面电位越低. 依
据电晕注极和热注极原理对实验结果的分析表明, FEP 和金属铝在电荷存储性能上的差异是FEP 表面蒸镀
铝电极后能获得栅型电场分布的原因所在.
关键词: 驻极体, 栅型电场分布, 注极技术, 电荷存储性能
PACS: 77.55.F–, 21.10.Ft, 42.25.Ja, 51.50.+v DOI: 10.7498/aps.64.237701
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/Si N 薄膜驻极体 的研究都表明, 随着尺寸的
1 引 言 减小, 采用传统的电晕充电和电击穿等注极技术对
微尺寸材料进行注极时, 其初始表面电位会变得很
驻极体由于可产生持久稳定的静电场而引起 12
低, 且表面电位稳定性变差. Genda 等 通过对
人们的广泛关注. 近年来MEMS 器件越来越多地
微型化驻极体的注极实验研究认为由于电晕离子
融入了驻极体材料, 例如小功率驻极体发电机及驻
不能到达尺寸很小的驻极体表面, 得出了电晕放电
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