《J BT53021-1999-真空镀膜设备产品质量分等》.pdfVIP

J 78 JB/T 53021－1999 真 空 镀 膜 设 备 产 品 质 量 分 等 （内部使用） 1999-12-30 发布 2000-06-01 实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/T 53021－1999 前 言 本标准是对 JB/T 53021—92 《真空镀膜设备 产品质量分等》进行的修订。此次修订，对其主要 技术内容作了大的修改。 本标准自实施之日起代替 JB/T 53021—92。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：李玉英、李春影。 本标准于 1992 年首次发布。 I 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 真 空 镀 膜 设 备 JB/T 53021－1999 产 品 质 量 分 等 代替 JB/T 53021—92 （内部使用） 1 范围 本标准规定了真空镀膜设备（以下简称产品）的质量等级、检验规则和评定方法。 –4 –3 本标准适用于压力在 10 ~10 Pa 范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB/T 11164—1999 真空镀膜设备 通用技术条件 3 产品的质量等级 3. 1 产品根据其质量水平和使用价值分为合格品、一等品和优等品。 3. 2 产品的考核项目及指标 a ）各等级的产品均应满足GB/T 11164—1999 中4.3、4.4 和 4.5 的要求； b ）A 类各等级的产品还应达到表 1 规定的各项相应指标，B 类各等级的产品还应达到表 2 规定的 各项相应指标。 4 检验规则和评定方法 4. 1 抽样方法 4. 1. 1 检查批的组成 在生产厂内经检验合格入库（或用户处）的产品构成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输 批相同或不同，由同一规格型号或不同规格型号、同一质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台 产品组成，但每个检查批的批量不得超过 250 台。 当没有明确规定时，批的组成、批量大小以及识别批的方式等，应协商确定。 4. 1. 2 抽样方案 采用一次抽样方案，每批样本数为 2 台，合格判定数为 0。 4. 1. 3 样本的抽取 样本应从检查批中随机抽取，抽样可在批构成之后或在批的构成过程中进行。 4. 2 试验方法 按 GB/T 11164— 1999 中第 5 章的规定。 4. 3 评定方法 国家机械工业局 1999-12-30 批准 2000-06-01 实施 1 JB/T 53021－1999 判定产品的质量等级，必须符合该等级全部考核