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基于化学机械抛光过程的超薄不锈钢基板表面特性分析-NSFC
2015 4 润滑与密封 Apr. 2015
年 月
40 4
第 卷 第 期 LUBＲICATION ENGINEEＲING Vol. 40 No. 4
DOI :10. 3969 /j. issn. 0254 － 0150. 2015. 04. 010
基于化学机械抛光过程的超薄不锈钢基板表面特性分析*
杨向东 魏 昕 谢小柱 胡 伟
( 510006)
广东工业大学机电工程学院 广东广州
檿 : (CMP) 檿
摘要 研究超薄不锈钢基板表面特性有利于了解和分析超薄不锈钢化学机械抛光 的接触机制及材料去除
檿 。 SEM 、OLS4000 、Mahr Surf XＲ20 SUS304 檿
机制 使用 激光共聚焦显微镜 表面轮廓仪等仪器研究 超薄不锈钢基板的组织
檿 檿
檿 檿
、 、 、 。 :SUS304
结构与表面形貌 表面粗糙度 表面缺陷 力学性能等 测量和计算结果表明 超薄不锈钢表面缺陷一般为凹
檿 、 、 、 、 ， 0. 4% ， ， 檿
陷 折皱 锈蚀 划痕 结巴和麻点等 其厚度误差仅为 实际密度小于理论密度 其原始表面几何粗糙度为
檿 28. 5 nm ，原始表面均方根粗糙度为62. 18 nm ，原始表面轮廓偏离平均线的算术平均值为38. 55 μm 。 檿
檿 : ; ; ; 檿
关键词 化学机械抛光 材料去除机制 超薄不锈钢基板 表面特性
檿 中图分类号:TB303 ;TB31 文献标志码:A 文章编号:0254 － 0150 (2015)4 － 045 － 4
Analysis of Surface Characteristics of Ultra-thin Stainless
Steel Substrate Based on Chemical Mechanical Polishing Process
Yang Xiangdong Wei Xin Xie Xiaozhu Hu Wei
(School of Electromechanical Engineering ，Gu
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