第七章目长度量测量1.pptVIP

绝对测量 激光干涉仪 激光波长作为长度基准 激光波长稳定，无需校准 激光波长非常短，测量分辨率高 激光具有干涉特性 激光干涉仪 迈克尔逊：（1852 -1931）,美国物理学家。设计了至今仍应用广泛的迈克尔逊干涉仪。荣获了1907年度的诺贝尔物理学奖 激光干涉比长仪 反射镜 固定角锥棱镜 可动角锥棱镜 移相板 分像棱镜组 光电显微镜 工作台 光电探测器 放大整形电路 计算机 光电探测器 差动放大电路 触发器 激光器 平行光管 反射镜 分光器 采用激光干涉原理 实现线纹尺和光波波长比较 激光干涉仪 单频激光干涉仪 只能进行直流放大器，而不能使用交流放大器 外界干扰使干涉信号强度降低，落于计数触发电平之下 外差干涉仪 测量镜静止时，光电探测器的输出信号为载波频率的交流信号 测量镜运动时，输出信号的频率只在某一范围内增加或减少 采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移 激光干涉仪 外差干涉仪 载波信号产生方法：使参与干涉的两束光产生一个频率差，这样的两束光干涉会产生“光学拍”现象，转化为电信号得到差频信号。 “光学拍”干涉条件：两个振幅相同，振动方向相同，且在同一方向传播，频率接近的两单色光叠加 双频激光干涉仪 绝对测量 各种工具显微镜 (Microscope) 第二节 长度尺寸的测量 一、直接测量 1. 绝对测量 激光干涉仪 工具显微镜 2. 相对测量 立式接触式干涉仪 电容传感小孔径测量仪 二、间接测量 1. 坐标测量法 2. 弓高弦长法 3. 激光衍射测量法 三、原位测量 相对测量 采用相对测量法的仪器测量得到的量值是被测量和定值标准量的差值 相对测量 立式接触式干涉仪测量原理 相对测量法 立式接触式干涉仪标定原理 相对测量法 电容传感相对测量原理 第二节 长度尺寸的测量 一、直接测量 1. 绝对测量 激光干涉仪 工具显微镜 2. 相对测量 立式接触式干涉仪 电容传感小孔径测量仪 二、间接测量 1. 坐标测量法 2. 弓高弦长法 3. 激光衍射测量法 三、原位测量 坐标测量法 接触式 非接触式 测量精度高 测量速度慢 有测力误差 需补偿测头半径 测量精度低 测量速度快 无测力误差 无需补偿测头半径 弓高弦长法 弓高弦长原理： 弓高弦长法 仪器调零 弓高仪 弓高弦长法 作业：推导弓高仪测量公式 所垫量块尺寸公式 激光衍射测量法 激光衍射测量法 第二节 长度尺寸的测量 一、直接测量 1. 绝对测量 激光干涉仪 工具显微镜 2. 相对测量 立式接触式干涉仪 电容传感小孔径测量仪 二、间接测量 1. 坐标测量法 2. 弓高弦长法 3. 激光衍射测量法 三、原位测量 原位测量 原位测量: 对正在加工的尺寸进行监测，或加工后的尺寸在加工工位进行测量，根据测量结果决定刀具进给量 自动补调仪 离位测量: 对被加工后离开加工工位的尺寸进行监测，根据测量结果对机床进行调整 密封好、测头耐磨、频响高、修正温度误差 有废品、精度高、 成本高 加工中的测量仪 原位测量 超精密机床自由曲面加工原位测量 机床主轴 被测工件 刀架 气浮式红宝石测头 测头底座 测量镜 激光干涉仪 * 第七章 长度量测量 孙长库 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室 第七章 长度量测量 第一节 概述 第二节 长度尺寸测量 第三节 坐标测量 第四节 形位误差测量 第五节 表面粗糙度测量 第六节 微纳尺度测量 第一节 概述 长度单位和定义 长度量值传递系统 长度测量的标准量 长度测量的基本原则 长度测量的标准测量环境 米的定义 1791年，法国国民议会决定采用经过巴黎的地球子午线自北极到赤道这一段弧长的一千万分之一 为长度单位，选取古