基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究.PDFVIP

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2019-03-02 发布于天津
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基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究.PDF

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年第卷第期测试技术学报２０１０２４５．２４．５２０１０ＶｏｌＮｏ总第期（８３）（．８３） ﹢﹨﹦﹢﹥﹦﹢﹦﹦﹦﹤﹪﹩ ＳｕｍＮｏ  文章编号：１６７１７４４９（２０１０）０５０３７７０４基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究１，２１１，２１１高安然李铁刘翔焦继伟王跃林，，，，（１．传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海，２０００５０；中国科学院研究生院北京２．，１０００４９）摘要设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片以实现对微液滴传输的精确控制介绍了：，．驱动原理和工艺流程分析了仿真和实验结果该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传，．输液滴采用玻璃作为衬底为电阻加热器为电极氧化硅为介质层碳氟聚合物为疏水，，Ｔｉ，Ａｕ，ＰＥＣＶＤ，层实现了器件制作芯片采用开放式结构制作工艺简单操作方便测试结果表明驱动功率为，．，，．，０．３８Ｗ时去离子水和硅油的传输速率分别达到和，０．１燉１燉．ｍｍｓｍｍｓ关键词微液滴温度梯度表面张力梯度电阻加热器开放式结构：；；；；中图分类号：４０２文献标识码：：１０．３９６９燉．．１６７１７４４９．２０１０．０５．００１ＴＮＡ ┄ ｊｉｓｓｎ ┉┊┎┄┃┇┃┈┅┄┇┉┉┄┃﹣┋┄┇┄﹥┇┄┅━┉ ﹥┇┋┃┎┇│━﹩┇┃┉ １，２１１，２１１，，，，