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集成电路技术讲座 第十一讲 集成电路制造中的 质量控制和成品率 Quality Control Yield 内容 前言 （一）成品率和成品率模型 （二）制造环境－沾污控制 （三）工艺优化和试验设计(DOE) （四）统计过程控制(SPC) （五）工艺设备状态的控制 (Off-line QC) （六）产品工艺的控制 (On-line QC) （七）PCM在质量控制中的作用 （八）低合格率圆片原因分析 前言－质量目标 ?产品指标符合客户（设计）要求 ?参数一致性和重复性好 ?成品率高 ?可靠性高 前言－实现质量目标的措施 质量保证体系（ISO9000，ISO16949） 　质量体系文件；人员培训；产品设计和工艺开发的程序和评审；供应商评审和进料检验；仪器计量；不合格品控制；出厂检验；5S管理；内审制度 制造过程的质量控制 (QC) 　沾污控制；统计工具的应用；生产设备状态稳定；关键工艺参数的监控；PCM的监控作用 （一）成品率和成品率模型 成品率 代工（Fundry） Y=Y1*Y2*Y3 Y1 (Line Yield) PCM in／Wafer start 　Y2 (PCM Yield) PCM out/PCM in 　Y3　(Visual Yield)　Stock in/PCM out 成品率 公司品牌产品 Y=Y1*Y2*Y3 Y1 (Line