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维普资讯 (西北工业大学三 ；i； 所，西安710072) (宝鸡秦岭电享_仪表 器研究所) 第堕一 硅±± 一 藉 ／ W ang Wearxiang B《_ iTransducerlnstitoteofQinlinElectroniclnstramentDivision) Abstrict A compensatemethodofpiezoresistivepressureSel1S．Ottemperature characteristic isintroduced by using pressure—temperatl~recomplexsensor．The circuitissimpleandhasbeenappliedinUAvfUnmannedairvehicle) Key Words Complex Selk50i Compert~ation in wide rdngcoftemperature PiezoresisllvepresSuieSenSOr 一一一一偿一胁卜 0 引 言 又在电路上采取了综合补偿措施，达到了较为 近年来，航空部f1需甩压力传感器 (差压 满意的效果． 鲍压J测量无人机的飞行参数．由_f压阻式压力 1 传感器及其电路的补偿设计方案夏原理 传感器具有灵敏度高，综台丰昔度高 体积小、后 选用CYG19T型差压传感器和 CyG44 继电路尚单等一系列优点，因此．从总体上看． 型绝压传感器作为压力测量元件，在传感器设 很适台作为测量无人机飞行参数的优选产品。 计过程 中，考虑到加上 电路后，其温度特性变 但压阻式压力传感器易受温度影响，产生热零 差，所以将集成温度传感器AD590与压力传 点漂移和热灵敏度漂移，虽然．目前批量生产的 感器的感压膜片安装在同一腔体 内， 便温度 压阻式压力传感器已采取了词度补偿措施 。但 补偿时准确感受感压膜片的温度．在 同步跟踪 一 般均在常规使用温度范围(一10～60)℃ 内 对传感器温漂进行宽温区补偿 的同时，兼顾对 进行补偿，而在 (-40～60)℃全温 区内要求达 电路综合温漂的补偿。 刊优良的温度特性，必使补偿方法复杂化，成本 【t 电路设计 也必将增加。且即使传感器作了全温区补偿，但 由于硅压阻式压力传感器一般都是接成惠 由于电路的本身参数匹配及温度特性的影畴， 斯登电桥型式，因此，通常采用供 电方式有 两 使传感器带电路输出的综合温度性能们较差． 种：一种是恒流繇法；另一种是恒压源法．恒流 为此．作者采用了一种压力一温度复台传感器 源供电具有 自补偿效应 将灵敏度温度系数 已 对 阻式压力传感器进行全温区温度补偿，且 补到较小值．本电路使用丁 3CR3型集成恒流 维普资讯 26 传 感 器 技 术 第 l7卷 源，该恒流源本身也具有一定的温度系赦，加上 系数电阻值．如果温度系数高于此值，町将 R 与传感器参数的匹配，使 电路和传感器不全是