恒定表面浓度扩散在恒定表面扩散中.PPT

* 第九章 傅立叶积分法 有界空间 傅立叶级数 无界空间 傅立叶积分 §9.1 无界弦的自由振动 代入泛定方程 由于无界空间，没有边界条件，?为连续值. 对分立值的求和应该转变为连续参量的积分. 讨论： 当? 0时， 当? ＝ 0时， 由于 ， 排除? 0. 由于 ， 当? 0时， （?可正可负） 由于没有边界，?不再限制只能是一些分立值（本征值），可取任意的实数值. 分离变数形式的解： 一般解： 由初始条件， 将上面式子的右边也展开成傅立叶积分，比较系数，得： 分别是 傅立叶的变换式. 延迟定理： 第一、三项 傅立叶变换 无界弦（杆）振动的达朗贝尔公式 §9.2 无界杆的导热问题 代入泛定方程 代入初始条件 将 展成三角形式的傅立叶积分， 积分公式： 无界杆导热问题的基本解 改写为： 无界杆导热问题的格林函数 非齐次的定解问题 应用冲量定理， 改写为： §9.3 半无界体的扩散问题 一、限定源扩散（预淀积扩散） 半导体扩散工艺的硼、磷扩散是慢扩散，杂质扩散深度远小于硅片的厚度。杂质穿过硅片的一面向里扩散问题，完全可以不管另一面的存在，即可以将硅片看成半无界空间。在限定源扩散中，是只让硅片表层已有的杂质向硅片内部扩散，但不让新的杂质穿过硅片表面进入硅片。 ?0为单位面积预先淀积在硅表面上的杂质分子数 解：由于边界条件为第二类边界条件，把初始条件偶延拓到  （- ?, 0），成为无界问题，x = 0处的边界条件自然满足. 定解问题变为 【讨论】 表面浓度N0 扩散系数 杂质浓度随时间的分布 杂质浓度随x的增大而减少的趋势变得不明显，杂质浓度趋于均匀. 验证结果的正确性 曲线在x = 0处的斜率为0，表明没有新的杂质进入硅. 可见扩散过程中杂质的总量不变. * *