原创力文档- 1、本文档共8页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
质量流量计MFM用于对气体的质量流量进行精密地测量广泛用于
质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺
设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气
等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气 (N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃ （273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0～+5.00V
主要特点：
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的 MFC
★7M 型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用
于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、
制气配气等行业。
主要特点：
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的 MFC
★7B 型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
特性参数
D07-7BM
满量程流量范围（N ）/The full process flow 5SCCM～10SLM
2
range
控制范围/control range 2～100％F.S.
准确度/accuracy ±1.5 ％F.S.
线性/linearity ± （0.5～1.5）％F.S.
重复精度/repeatability precision ±0.2 ％F.S.
响应时间/response time ≤7sec
工作温度范围/work temperature range 5～45 ℃
工作压差/working pressuire ＜0.01MPa
耐压/pressurization 3MPa
-8
漏气率/eak rate 1×10 SCCSHe
密封材料/sealant 氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式/power connector form DB15 pin(Female)
接头选择 VCR 1/4””或 φ4hose、φ6hose
/connector Swagelok 1/4”或 φ3、φ6mm
重量/weight 0.92Kg
D07-7B
满量程流量范围（N2）/the
5SCCM～10SLM
full process flow range
控制范围/control range 2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）
电磁调节阀（常闭）
/valve type
准确度/accuracy ±1.5％F.S.
线性/linearity ±0.5～1.5％F.S.
重复精度/repeatability
文档评论（0）