辊筒模具超精密机床系统设计与工艺-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 椃 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶椃 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 椃 暋 暋 暋暋斒旛旍棶棽棸棻椄 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椄棸椃灢棻椂椂棻灢棻棻 辊筒模具超精密机床系统设计与工艺 灣 棳 棳 棳 棳 乔 政 刘玉涛 吴言功 王 波 张 鹏 暋 暋 暋 棬 棳 棭 哈尔滨工业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨 棻椀棸棸棸棻 椇 棳 棳 摘要 为了提高国内大尺寸光学微结构薄膜的光学级模具制造水平 打破国外在辊筒模具超精密加工装备的垄断 完成 暍 暎 棳 了国内首台套大尺寸光学微结构辊筒模具超精密机床的设计 集成以及典型微结构工艺的研究工作 首先 根据辊筒模 棳 暎 具表面微结构加工工艺的特点 分析了辊筒模具超精密机床的关键技术并完成了机床结构与运动控制系统设计 在机 棳 暎 暎 棳 床系统集成后 完成了运动控制系统的调试 直线轴执行阶梯运动完成了直线轴运动分辨率的测试 其次 通过准直仪 暎 棳 棳 和激光干涉仪完成了机床关键轴系的直线度及定位精度的测试和补偿 最后 采用多步切削法切削实验 以降低毛刺高 棳 暎 棳 棳 度为目标 完成了 槽阵列的加工工艺参数优化 经测试 该超精密加工机床的直线运动分辨可达到 直线轴的双 斨 椀旑旐 棷 椈 棳 棳 向定位精度均优于 采用多步切削法加工 槽阵列 最后一次切削深度建议在 可以获得合格 棻 旐 棻棻棸棸旐旐 斨 棻暙棽 旐 毺 毺 的 槽阵列暎 斨 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 超精密加工机床 金刚石切削 辊对辊 辊筒模具 微结构 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷