第四章 光电仪器中定位与校准.pptVIP

第四章 光电仪器中的定位与校准 概述 光栅概述 幅值光栅测量位移的原理 莫尔条纹光信号反差的大小能简单说明光栅系统工作情况的质量。莫尔条纹理想波形为三角形波，其反差最大，即Kmax=1。由于光闸莫尔条纹光信号的波形接近三角形波，因而有很好的反差。 相位光栅 莫尔条纹读数系统 镜像式读数头 镜象式读数头是利用主光栅和它的镜象产生莫尔条纹信号。 其优点是可获得无间隙的莫尔条纹信号，无指示光栅；可获得倍频信号输出，提高了灵敏度。 (b) 7 镜镜式光栅读数头光路图 1--光源 2--光电接收器 3--主光栅 4--物镜 5--反射镜 6--聚光镜 7--析光镜 7 (a) 6 5 1 2 1 2 3 4 3 6 5 4 莫尔条纹读数系统 调相式读数头 调相式读数头的工作原理是基于光栅信号的相位与固定不变的基准信号作比较而进行测量的。因此，在较差的工作条件下也能测得栅距的一个很小分数值。 调相式光栅读数头结构较复杂，但可获得很大的细分数。 6 1. 3-光电接收器 2-主光栅 4-基准光栅 5-析光镜 6. 9. 10-聚光镜 7-圆柱光栅 8-光源 11-椭圆反射镜 12-多边形反射镜 13-反射棱镜 12 8 4 （a） 7 5 3 2 4 （b） 9 1 13 1 10 11 2 3 8 6 激光光斑中心的准确定位是决定测量系统精度高低的关键因素。通常可选用CCD、PSD、阵列式光电二极管等接收器件接受光斑，整个系统需经过标定后才可确定光斑的位置变化量。 PSD是一种非线列非面阵的连续分布的半导体位置检测元件，其工作原理就是基于横向光电效应。 横向光电效应：又称侧向光生伏特效应或殿巴效应。半导体光照部分吸收入射光子能量后产生电子空穴对，使该部分载流子浓度高于未被光照部分，而出现载流子浓度梯度，形成载流子的扩散。由于电子迁移率比空穴的大，因此电子首先向未被光照部分扩散，致使光照部分带正电，未被光照部分带负电，使两部分间产生光生电动势的现象。 PSD定位 激光在定位中的应用 激光光斑定位 根据入射光的种类和入射范围不同，PSD分为线型（一维）PSD和面型（二维）PSD。 一维PSD的工作原理：当光束入射到PSD光敏层上距中心点的距离为x时，在入射位置产生与光辐射成正比的信号电荷，此电荷形成的光电流通过电阻P型层分别由电极1与2输出。 激光光斑定位 一维PSD 图4-24 RL RL P N I 1 2 I1 I2 l l x 3 图4-4 PSD工作原理 主要用来测量光斑一维方向上的位置或位置移动量。 4.1 概述 4.2 定位 4.3 校准 光电仪器精度的高低，除精密机械部分的运动精度外，很大程度上还取决于它的定位与测量系统。因此定位与测量系统是光电仪器中的一个重要组成部分，特别是对高精度的仪器尤为重要。 仪器的校准是将仪器的响应示值与其启动信号或通过其他方法测得的真实值相联系的过程。校准的对象是测量仪器、实物量具或测试系统等，其目的是通过与标准比较确定测量装置的示值，也就是用测量标准去测量被校准量。 校准技术是测量仪器的基础，也是其关键技术。研究高精度校准技术对系统整体性能的提高起着重要的作用。 定位 光电仪器的定位系统：用测量手段检测光电仪器中精密机械部分（或其它部分）运动位置精度的系统。 定位系统可分为开环控制系统和闭环控制系统。 开环控制系统 开环控制系统由控制器和被控对象组成，由输入端通过输入信号控制被控对象得输出物理量的变化，如下图所示。 图4-1 精密工作台系统 1-电机 2-带传动 3-蜗轮蜗杆 4-螺旋传动 5-工作台 此类系统不采用任何的反馈元件，它的运动位置精度主要决定于执行元件的精度和精密机械本身的加工精度。 优点：系统比较简单；调整、使用和维修较方便；工作稳定可靠；成本低。 驱动装置 传动机构 精密工作台 图4-2 开环控制系统框图 缺点：精度比较低，一般只能达到10μm级精度，如测量显微镜，故只适用低精度的仪器中。 尽管开环系统优点很多，但达到的精度毕竟是有限的，已远远不能满足现代精密仪器的高精度和自动化的要求。 闭环控制系统是负反馈控制系统，具有输入信号控制被控量的通道，同时具有由输出量信号反馈到输入端的反馈通道。负反馈控制按输入与输出信号的偏差进行控制。如下图所示的精密工作台的位置精度的闭环控制。 闭环控制系统 微处理器 动力部件 工作台 图4-3 闭环控制系统框图 驱动装置 检测装置 A B ? A?B 定位 优