MEMS机油压力传感器可靠性研究.docVIP

资料 MEMS机油压力传感器可靠性研究 1引言MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的压力传感器。目前已有多种MEMS压力传感器应用到了汽车电子系统中，如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力、汽车胎压压力等。其中机油压力传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要传感器，其可1 引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的 HYPERLINK /tech/cgq/200010150001/17231.html \t _blank 压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的压力传感器。目前已有 HYPERLINK /tech/tx/200010390009/27364.html \t _blank 多种MEMS压力传感器应用到了汽车 HYPERLINK /tech/dr/200010060034/324094.html \t _blank 电子系统中，如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力、汽车胎压压力等。其中机油压力传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要传感器，其可靠性直接关系到汽车和人的安全性。本文选用MEMS压力芯片，成功开发出汽车发动机机油压力传感器，研究了机油压力传感器的封装工艺和可靠性。在传感器的开发过程中，严格按汽车电子产品质量要求，对传感器的封装及组装过程进行了系统的分析和测试，并通过工艺优化极大地提高了传感器的可靠性能。 2 工作原理和制造工艺 MEMS压力传感器是利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特定晶向，制成应变 HYPERLINK /tech/qtdz/200010160031/28957.html \t _blank 电阻，构成惠斯通电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一硅材料上进行各向异性微加工，制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。通常传感器芯片上制作有4个多晶硅电阻，电阻制作在硅薄膜的边沿位置，这是因为在薄膜的边沿处，当薄膜受到作用力时，应变引起的电阻变化最大。4个压阻R1， HYPERLINK /tech/qtdz/200010160031/1485507.html \t _blank R2，R3，R4组成惠斯通电桥构成压力检测电路，当电桥中输入电压为Vin，并设膜片上的4个压阻相等(即R1=R3=R3=R4=R)，当薄膜受力变形时，两个电阻变大，两个电阻变小，且△R1=-△R2=△R3=-△R4=△R，则其输出电压Vout可表示为 MEMS机油压力传感器可靠性研究 　 HYPERLINK /news/listbylabel/label/MEMS MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用 HYPERLINK /news/listbylabel/label/MEMS MEMS技术研制的压力 HYPERLINK /news/listbylabel/label/%E4%BC%A0%E6%84%9F%E5%99%A8 传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的压力 HYPERLINK /news/listbylabel/label/%E4%BC%A0%E6%84%9F%E5%99%A8 传感器。目前已有多种 HYPERLINK /news/listbylabel/label/MEMS MEMS压力 HYPERLINK /news/listbylabel/label/%E4%BC%A0%E6%84%9F%E5%99%A8 传感器应用到了汽车电子系统中，如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力、汽车胎压压力等。其中机油压力 HYPERLINK /news/listbylabel/label/%E4%BC%A0%E6%84%9F%E5%99%A8 传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要 HYPERLINK /news/listbylabel/label/%E4%BC%A0%E6%84%9F%E5%99%A8 传感器，其可靠性直接关系到汽车和人的安全性。本文选用 HYPERLINK /news/listbylabel/label/MEMS MEMS压力芯片，成功开发出汽车发动机机油压力 HYPERLINK /news/listbylabel/label/%E4%BC%A0%E6%84%9F%E5%99%A8 传感器，研究了机油压力 HYP