射频大气压放电的斑图特性研究等离子体物理专业论文.docxVIP

lIIIl lIIIl U IIII II III I II IIl 大连理工大学学位论文独创性声明 Y3057727 作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究 工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外， 本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请 学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献 均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。 学位论文题目：身主垂丑盔玺＆盐馥鹫箍弪垡氢§蛔趁 作者签名：越晓l!乞 日期：2“年f_丛月—红日 万方数据 大连理工大学硕士学位论文摘 大连理工大学硕士学位论文 摘 要 射频大气压放电具有击穿电压低、密度高、空间均匀分布等优点，因此可广泛应用 于材料表面处理、生物医学、薄膜沉积等方面。同低频放电相比，连续波射频放电中的 气体温度相对较高，随着大气压射频反应器尺寸、功率的增加以及加入化学活性气体， 大气压连续波射频放电中的气体温升将更为严重，这将限制该放电的应用领域。脉冲调 制射频大气压放电通过改变占空比可以有效地控制气体温度，但同时也产生了新的放电 特性一一斑图以及斑图．辉光的转化。为了得到无斑图的均匀脉冲调制射频大气压辉光 放电，尚待研究脉冲调制射频大气压放电的放电特性。 为此，本文展开了以下研究工作： 1．真实的等离子体吸收功率与功放净输出功率的关系研究 在射频大气压放电中，为了获得真实的等离子体吸收功率，以便观察分析斑图随等 离子体吸收功率的演变，首先研究了等离子体吸收功率与功放净输出功率的关系。结果 表明，在匹配电容不变时两功率值呈近似线性关系。 2．脉冲调制射频大气压放电的斑图特性研究 在载波频率为13．56MHz时，研究了放电参数对脉冲射频大气压放电的斑图特征的 影响。在低脉冲占空比下，斑图的数量、间距以及亮度都随射频功率变化而改变，且呈 现不可逆的回滞特性，即斑图特性与达到该放电功率的历史有关。在高占空比下，斑图 数量、亮度不仅继续保持低占空比下的回滞特性，而且在相同的低功放净输出功率下， 纯斑图放电可以转化为类辉光放电且回滞不到斑图放电。通过改变脉冲周期和占空比得 到了辉光、类辉光和斑图的分区图，并研究了这三种放电模式下的正负反馈区。研究还 表明，氩气流量对斑图放电也有影响：随着气体流量增大，斑图放电区远离进气口，放 电面积减小，由二维放电逐渐转变为一维放电。研究了在氩气放电中混入氧气和氦气的 放电斑图，在同样的电压峰峰值下，随着氧气流量的增加，击穿电压增加，放电面积减 小，且放电逐渐远离进气口；而随着氦气流量的增加，击穿电压降低，放电面积增大， 且放电逐步接近进气口。研究了楔形电极的斑图放电，问距小的地方先击穿出现第一个 斑图，随着放电功率增加，在大问距处出现新增斑图，大间距处的斑图面积较大且亮度 较强。在减小射频功率时，小问距处的斑图先消失。 3．连续波射频大气压放电的空间不均匀性研究 在连续波射频大气压氩气放电中加入不同比例的水汽时，随着电极电压的增加，放 电出现辉光、辉光．斑图共存、纯斑图放电的演变。随着水汽比例的增加，辉光放电区 万方数据 射频大气压放电的斑图特性研究域变窄，斑图存在区域加宽。当水汽比例高于临界值时，放电击穿即为不均匀的斑图放 射频大气压放电的斑图特性研究 域变窄，斑图存在区域加宽。当水汽比例高于临界值时，放电击穿即为不均匀的斑图放 电。在不同的水汽含量下，同时研究了放电的间隙电压．传导电流之间的关系，研究结 果表明：低水汽含量下的间隙电压．传导电流曲线在Q一丫模式转变前后由正阻性转化为 负阻性，高水汽含量下的间隙电压．传导电流曲线负阻性区域增加。当水汽含量高于临 界值时，间隙电压．传导电流曲线正阻性区域消失。 关键词：脉冲调制；射频大气压放电；占空比；斑图；水汽 万方数据 大连理工大学硕士学位论文Studies 大连理工大学硕士学位论文 Studies on pattern characteristics of radio frequency atmospheric pressure discharges Abs仃act Radio frequency atmospheric pressure discharges(RF APDs)is widely used in the mate：rial surface treatment，biological medicine，thin film deposition and SO on due to the advantage of low breakdown voltage，high electron density and simple equipment etc．Gas temperature in