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浅谈扫描电镜技术原理以及应用 摘要: 扫描电镜一种新型的多功能的,用途最为广泛的电子光学仪器。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。 关键词:扫描电镜;应用 1938 年德国的阿登纳制成了第一台扫描电子显微镜,1965 年英国制造出第一台作为商品用的扫描电镜,使扫描电镜进入实用阶段。近 20 年来,扫描电镜发展迅速,多功能的分析扫描电镜(即扫描电镜带上能谱仪、波谱仪、荧光仪等)既能做超微结构研究,又能做超微结构分析,既能做定性、定量分析、又能做定位分析,具有景深大,图像富有立体感,分辨率高,图像放大倍数高,显像直观,样品制备过程相对简单,可连接EDAX(X-射线能谱分析仪)进行微区成分分析等特点,被广泛应用于生物学、医学、古生物学、地质学、化学、物理、电子学及林业等学科和领域[1-2]。 1扫描电镜的工作原理与技术特点 1.1 扫描电镜的工作原理 扫描电镜( SEM) 的工作原理是由电子枪发射出来直径为50μm(微米)的电子束,在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚,形成直径为5nm(纳米)的电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子,获得相应材料的表面形貌和成分分析[3]。从材料表面散射出来的二次