光固化法制备微结构聚合物器件的研究动力工程及工程热物理专业论文.docxVIP

摘要 摘要 光固化法制备微结构聚合物器件的研究 摘要 由于聚合物材质具有价格低廉和理化性能优良等优点，使得聚合物在 微细加工领域特别是在微流控芯片、微反应器件及微光学照明器件等方面 显示出巨大的商业前景。而光固化法压印工艺能够在常温低压下快速成型 各种微纳结构制品，具有其它方法无法比拟的优势。因而近年来，光固化 法微纳压印技术成为微细加工中的一个研究热点。本文以制作具有微米和 纳米阵列表面的聚合物器件为目的，对光固化微纳压印成型的工艺进行了 较为系统的研究。 本文首先利用理论计算得出UV胶液滴在受压过程中主要以层流状 态进行表面扩散，计算表明液体填充模腔的时间极短，而主要由UV胶的 固化时间决定了微纳结构成型的快慢。建立了气液混合的多相流(VOF) 流体分析模型，归纳并划分出了有利于微结构填充的有效接触角组合区 域。Uv胶液体与模具保持较小的锐角，而与基板则保持成钝角，能够有 利于增大UV液体的填充率。增加液体表面张力系数和液体的供给率均有 利于填充率的提高，而增大微结构深宽比则液体填充率有所下降。 首次建立了以弹性断裂力学为基础的内聚力模型，模拟分析得知脱模 主要分为：微结构顶端能量积聚直至脱开和侧壁摩擦剪切而脱开两个阶 段。侧壁上与模具接触的上下两个尖角为应力集中位置，底部尖角位置最 易损坏。摩擦引起的剪切作用在局部应力的增加中所占比例较大，不容忽 万方数据 北京化工大学硕士学位论文视。保持细微的侧壁倾角和较高弹性模量的Uv胶固体有利于保证成功的 北京化工大学硕士学位论文 视。保持细微的侧壁倾角和较高弹性模量的Uv胶固体有利于保证成功的 脱模。 最后利用“滚对平板’’(Roll．to-Plate，RTP)，也称为Roller Press Scan 的压印方式，成功制备出大面积(200mm2)表面含纳米蛾眼结构的薄膜， 具有良好的抗反射效果。在波长为450．600nm之间时，单面AR制品反射 率仅为1％左右，双面AR制品的透射率则能达到98．3％。覆盖有AR薄 膜的背景色彩还原性极佳，提高了显示的分辨率，可以与商用的抗反射涂 层制品媲美。 同时分析了不同工艺对纳米结构尺寸的影响，保持“高压中速的参数 窗口设置，能够得到尺寸一致性较好的制品。文中首次提出了连续点胶式 的滚对平板紫外压印工艺的概念，简化了UV胶涂布工艺，能有效提高微 结构成型的效率，这将为实现规模划的生产微纳结构聚合物器件提供新的 思路。 关键词：光固化压印，光固化树脂，RTP微纳压印，UV胶充模，微 结构脱模，连续点胶，抗反射薄膜 万方数据 THE THE STUDY ON THE FABRICATION OF THE POLYMER MICROSRUCTURE BY THE UV CURABLE METHOD ABSTRACT Since the polymer material has the advantages of low price and excellent physical and chemical properties，which shows a huge commercial prospect in the micro machining field especially in microfluidic chip，micro—reaction device and micro—optics lighting device．However，the light curing method of stamping technology enables to rapid prototyping of micro—nano structure under the low pressure of the products，owning the incomparable advantage over other methods．So the photo-curable embossing technology becomes a research hot spot in micro machining in recent years．In this paper,for the purpose of making micro and nanoscale polymer array componentS，a rather systematically study of the photo·-curable micro or nano--stamping process has been made． This paper calculated that the UV glue droplets in the compression process main