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3.3.4 俄歇电子谱 （1）电子能谱曲线 二次电子 俄歇电子 能量损失电子 弹性散射 用一束光或电子束激发样品会产生多种电子(二次电子、背散射电子、光电子、X射线光子、俄歇电子等），这些电子的数目对能量作图即得电子能谱图 非弹性散射 二次电子： 指被入射电子轰击出来的样品的核外电子。 背散射电子：指被固体样品原子核反弹回来的一部分入射电子。 （2）俄歇电子谱 俄歇电子谱峰强度很低 用N（E）随E的变化率对E作图 增强了俄歇电子的信号，抑制了本底信号 3.3.5 化学效应 化学环境的强烈影响常常导致俄歇谱有如下两种可能的变化：(称为化学效应) （1）化学位移：化学环境的不同导致内层电子能级发生微小变化，造成俄歇电子能量微小变化，表现在俄歇电子谱图上，谱线位置有微小移动。 锰和氧化锰的俄歇电子谱 锰 氧化锰 氧化锰 540eV 587eV 636eV 锰 543eV 590eV 637eV （2）当俄歇跃迁涉及到价电子时，情况就复杂了，这时俄歇电子位移和原子的化学环境就不存在简单的关系，不仅峰的位置会变化，而且峰的形状也会变化。 石墨 金刚石 Mo2C、SiC、石墨和金刚石中 碳的 KLL（KVV或）俄歇谱 3.5 电子能谱仪 激发源 样品室 电子能量分析器 电子检测器 计算机 电子能谱仪方框示意图 3.5.1 光电子能谱仪 X射线光电子能谱仪的基本结构 A-电子分析器 L-减速聚焦透镜 S-样品室 X-X射线管 XPS-X射线源电源 VP1-3-真空泵 D-电子探测器 A.P.S-电子分析器电源 P.A-前置放大器 M.A-主放大器 REC-记录仪 （1）X射线源 XPS中最常用的X射线源主要由灯丝、栅极和阳极靶构成。 双阳极X射线源示意图 （2）样品室 进行样品分析的场所。 样品导入系统：将被测样品从外部引入到样品室。 各种样品台示意图 （斜线部分表示样品） （a）从大气中经真空锁机械插入； （b）插入后样品台与推杆分离留在样品室内； （c）同时装多个样品的样品台置于样品室内抽真空； 电子能量分析器其作用是探测样品发射出来的不同能量电子的相对强度。它必须在高真空条件下工作即压力要低于10-3帕，以便尽量减少电子与分析器中残余气体分子碰撞的几率。 （3）电子能量分析器 半球型电子能量分析器 由两个同心半球和分别处于入口和出口的狭缝组成，在两球间加一定的偏转电压，光电子从入口狭缝进入，只有所带能量和偏转电压满足一定关系的光电子才能够从出口狭缝通过，连续改变偏转电压，不同能量的光电子依次通过出口狭缝，光电子的个数被检测器记录，最终获得光电子能谱图。 检测器通常为单通道电子倍增器和多通道倍增器。 （4）检测器----电子倍增器 单通道电子倍增器示意图 电子倍增器的原理：当具有一定动能的入射电子打到内壁表面后，每个入射电子打出若干个二次电子；这些二次电子沿内壁电场加速，又打到对面的内壁上，产生更多的二次电子；反复倍增，最后形成脉冲信号输出。 光电子或俄歇电子流 倍增器 电子能谱仪的真空系统有两个基本功能。 1、使样品室和分析器保持一定的真空度，以便使样品发射出来的电子的平均自由程相对于谱仪的内部尺寸足够大，减少电子在运动过程中同残留气体分子发生碰撞而损失信号强度。 2、降低活性残余气体的分压。因在记录谱图所必需的时间内，残留气体会吸附到样品表面上，甚至有可能和样品发生化学反应，从而影响电子从样品表面上发射并产生外来干扰谱线。 （5）真空系统 3.5.2 俄歇电子能谱仪 俄歇电子能谱仪结构示意图 1-旋转式样品台； 2-电子枪； 3-扫描电源； 4-电子倍增器； 5-磁屏蔽； 6-溅射离子枪； 7-分析器； 8-锁相放大器； 9-记录系统； 常用于AES的一种电子枪 （1）电子枪 加速电压一般为5-20kv （3）溅射离子枪 作用： 1、清洁样品表面，以清除附着在样品表面的气体分子和污物； 2、同时还可以对样品进行离子刻蚀，以分析样品的 化学成分在深度方向的分布。 (4) 分析器---筒镜式电子能量分析器（CMA) 由两个同轴的圆筒形电极构成的静电反射系统。内筒上开有环状的电子入口狭缝和出口狭缝。两筒之间加有一定的电压，从样品中激发的电子以一定角度从入口狭缝进入内筒和外筒之间的区域，调节两筒间电压，从而获得相应的电子能谱图。 (5) 真空系统 真空系统、气体导入系统的 结构 抽气系统主泵 抽气系统辅助泵 先是旋转泵初抽至Pa级，然后切换到吸附泵抽气，同时烘烤数小时，使样品室和主泵去气，烘烤结束切换至主泵，导入液氮，以获得1×10-9Pa