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第10章 PDP製程與技術發展 前言 電漿顯示器(Plasma Display)基本原理 是利用氣體放電的物理現象 又稱為氣體放電顯示器(Gas Discharge Display) 電漿面板顯示器分類與原理(1) 電漿面板顯示器(Plasma Display Panel，PDP) 利用氣體放電產生發光的顯示器 發光原理基本上是與螢光燈的原理相同 在真空玻璃管中注入惰性氣體或水銀氣體，利用加電壓方式，使氣體產生電漿效應，放出可見光與紫外線，藉由紫外線照射到塗佈在玻璃管壁表面上之螢光粉時，螢光粉就會被激發出可見光，可見光的顏色由螢光粉的種類所決定 電漿面板顯示器分類與原理(2) 彩色PDP 可想像成被縮小化的螢光燈，有許多個以陣列方式聚集在一起放電 每一個放電空間稱為一個胞(Cell) 放電空間中封入的氣體為氖(Ne)與氙(Xe)，或氦(He)與氙(Xe)等惰性混合氣體 氣體經施以高電壓後，產生氣體放電現象 放電現象所釋放出來的紫外線波長以147 nm為主 電漿面板顯示器分類與原理(3) 彩色PDP的螢光粉種類，包括 可發出紅(R) 、藍 (B)、綠(G)三原色光的三種不同螢光粉 非單一種發白色光的螢光粉 電漿面板顯示器分類與原理(4) PDP DC-PDP 記憶型 非記憶型 Nixie-National Electronics Segment-Beckman Burroughs Cherry Dale Display Inc. Dot Matrix-Beckman Dale Display Inc. Matsushita Okaya Oki Shift-Burroughs AC-PDP 記憶型 Dot Matrix-Electro-Plasma Fujitsu IBM Norden Photonics Thomson-CSF Shift-Fujitsu 非記憶型 Dot Matrix-NBC Segment-Fujitsu NCR NEC PDP製程 PDP製程 不論是上板製程或下板製程，一定由空白的平面透明玻璃基板開始 玻璃基板要能承受熱處理溫度(450至600oC)，不會有收縮或彎曲變形過大的問題發生 產生收縮或彎曲變形過大時，將使得上、下板中的對位記號(Aligment Mark)，及其他各層電路圖案位置產生位移 量產玻璃基板是採用高應力點的玻璃基板來解決熱處理應力要求 Asahi PD200有直接提供鍍有ITO薄膜的玻璃基板 上板製程 1、透明電極製作 透明電極功能，是作為表面放電維持電極使用 透明目的，是為了避免螢光粉被紫外線激發出之可見光被阻擋，使面板的亮度降低 目前量產上所使用的透明電極材料，包括 氧化銦錫(ITO，Tin-Doped Indium Oxide) 氧化錫(SnO2，Tin Oxide)兩種 ITO膜的導電度與透光率較SnO2膜為佳 2、金屬輔助電極製作 透明電極的電阻值仍然過高，為避免在放電時電壓下降過大，導致應用在大尺寸PDP時，無法產生均勻放電，故在其上方製作較窄之金屬輔助電極(Bus Electrode)，以增加其導電度 目前量產上所使用之導電電極，包括有 鉻/銅/鉻 銅導電率高，但製程中亦被氧化增加電阻，且容易被封合膠浸蝕產生斷線 鉻抗氧化及耐蝕性均較銅佳 以濺鍍及濕式蝕刻製作，精密度佳 銀-可用直接圖案印刷，成本低 3、黑色對比層製作 黑色對比層功能，是增加面板影像的對比，與減少外界光的反射影響 此層是形成於每個放電胞中，兩條透明電極的兩側 黑色對比層製作方式有兩種 直接圖案印刷 黃光濕式蝕刻法 4、透明介電層製作 透明介電層功能，是在使用AC時作為儲存電荷之電容，及在驅動面板時提供壁電荷，以降低驅動電壓 透明介電層材料主要成份是玻璃粉，是以厚膜製程中的平面印刷法為主 平面印刷是網版上沒有圖案(Pattern)，印刷上較有圖案的印刷為簡單 5、保護層製作 保護層目的，包括有 在電漿環境中耐離子撞擊，以保護其下部的各層材料 較高的二次電子發射效率，以降低產生氣體放電的最低啟動電壓 保護層材料以氧化鎂(MgO)為主 MgO保護層製作方法，包括有 漿料塗佈法 濺鍍法 電子束蒸鍍法 離子電鍍法等 下板製程 1、資料電極製作 資料(Data)電極功能，是作為寫入資料用，亦稱定址電極(Address Electrode) 資料電極層所使用材料，與上板之金屬輔助電極一樣的，包括有銀電極、銀感光性膠膜或鉻/銅/鉻電極，目前主要以直接印刷銀電極為主要製程 2、白色反射層製作 增加白色反射層目的，包括有 提供一平坦表面，使得後續阻隔壁製程容易製作 保護資料電極免受到後續製程的損傷 增加螢光反射，以提高面板亮度 製程有兩種方式 直接以平面印刷法塗佈介電層漿料 壓合介電層膠膜 3、阻隔壁製作(1) 阻隔壁(Ri