中国计量学院课程设计《半导体器件》.docVIP

PAGE 12 2 - 中国计量学院 光学与电子科技学院 《半导体器件》课程设计报告 中国计量学院 光学与电子科技学院 《半导体器件》课程设计报告 目录 TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc11907 一. 传输门简介 2 HYPERLINK \l _Toc9357 1.1器件结构 2 HYPERLINK \l _Toc18193 1.2工作原理 3 HYPERLINK \l _Toc25613 1.3 CMOS传输门的应用 5 HYPERLINK \l _Toc2091 二.CMOS传输门版图 6 HYPERLINK \l _Toc20624 2.1 L-EDIT简介 6 HYPERLINK \l _Toc10071 2.2 总体版图 7 HYPERLINK \l _Toc26764 2.3 分版图 8 HYPERLINK \l _Toc5113 2.4制版说明 11 HYPERLINK \l _Toc21169 三. 传输门工艺流程 12 HYPERLINK \l _Toc20026 3.1关键工艺的计算 12 HYPERLINK \l _Toc6401 3.2工艺流程图 13 3.3 工艺流程说明 HYPERLINK \l _Toc6401 18 HYPERLINK \l _Toc21228 四.器件工艺流程图 19 HYPERLINK \l _Toc2172 4.1器件简介 19 HYPERLINK \l _Toc19104 4.2工艺流程图 22 五 HYPERLINK \l _Toc25254 5. 可调电阻设计 29 HYPERLINK \l _Toc25061 5.1版图 29 HYPERLINK \l _Toc5043 5.2版图说明 29 HYPERLINK \l _Toc10189 5.3工艺参数计算 32 HYPERLINK \l _Toc6432 六. 结论 34 HYPERLINK \l _Toc6432 七. 附录 35 HYPERLINK \l _Toc32179 参考文献 37 一、传输门简介 1.1器件结构 MOS管是栅压控制源漏之间电流导通状态的器件，有导通和截止两种状态，因此可作为电子开关。 基本的传输门有NMOS传输门、PMOS传输门和CMOS传输门。基本结构如下所示： （1）NMOS传输门 （2）PMOS传输门 如图1.1所示是一个N型晶体管构 如图1.2所示是一个P型晶体管构成 成的传输门，电路中C1是负载电容。 的传输门，电路中C1是负载电容。 图1.2 pmos传输门 图1.2 pmos传输门 图1.1 nmos传输门 （3）CMOS传输门 如图1.3所示是一般表示CMOS传输门的几种电路符号，它由一对互补MOS晶体管构成，电路中C1是负载电容。 V Vin Vout EN EN Vout Vin EN En En Vin Vout En En Vout Vin 图1.3 CMOS传输门电路符号 1.2工作原理 （1）NMOS传输门 当=0时，T截止，=0，使得=0与输入的状态无关，相当于开关断开。当时，T导通，相当于开关合上，其工作过程如下： 1.当时，由于，电流由左向右流过元件，并使负载电容C1充电，充电过程如下：时，由于初始时=0，则刚加上时，输出端属于开启状态，MOS管导通，沟道电流对电容充电。时，随着的上升，沟道电流逐渐减小，当时，MOS管截止，输出电压保持不变。这表示当传输逻辑信号“1”时，经过逻辑门会使此信号衰减。 图1.4 电流特性图1.5 输出电平变化 图1.4 电流特性 图1.5 输出电平变化 2.当时，由于此时，T导通，负载电容通过沟道开始向放电，由于开始时，电流由右到左流过元件T。当输出电压接近时，管T中的电流变小。输出电压可以降至，所以输出逻辑信号“0”时不会产生失真。 图1.7 输出电平变化 图1.7 输出电平变化 图1.6电流特性 综上所述，当N型MOS管传输信号“0”时，可以无损失的传输信号；当传输信号“1”时，信号传输有损失。 （2）PMOS传输门 用分析NMOS传输门的类似方法，同样的可以分析PMOS传输门的工作原理。 当=0时，PMOS管截止，相当于开关断开，负载电容C1状态维持不变。当时，PMOS管导通，电流开始流动。 当且时，负载电容C1通过T管沟道充电至。当且，负载电容经由PMOS管沟道放电至，此时PMOS晶体管截止，输出