场发射扫描电子显微镜.PDF

场发射扫描电子显微镜 ™ SUPRA 55 配置： 主要技术指标： 探测器 Inlens 二次电子探测器 分辨率：1.0nm @ 15kV E-T 二次电子探测器 4Q BSD 背散射电子探测器 1.7nm @ 1kV 4.0nm @ 0.1kV X 射线能谱仪 分辨率：132 eV @ MnKα 放大倍数：12 ~ 900,000x 探测元素范围：Be(4) ~ Fm(100) 加速电压：0.1 ~ 30kV SUPRA™ 55 Field Emission Scanning Electron Microscope Enabling the Nano-Age World TM SUPRA 55 采用了专利的 GEMINI 镜筒设计和环形 IN-LENS SE 探测器，具 有束流稳定、分辨率高的特点，能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成 像及元素成分分析，其主要特点有： 1．肖特基(Schottky)场发射电子源，具有较大的发射电流和极高的稳定性 2．采用专利技术 GEMINI 镜筒，克服传统单极物镜光阑设计缺点，消除磁性 影响，同时采用无交叉光路设计，提高了仪器的主要性能 3．采用 Beam booster（电子束加速器），以得到极好的低加速电压性能 4．环形高效 In-lens SE 探测器，具有良好的分辨率和对称性 5．电磁/静电式复合物镜，可对磁性物质进行高分辨成像 EBSD 分析 EBSD 是当今材料特征分析的重要工具，它可以用晶体取向图的形式显示多晶 材料的晶体取向和织构。 一、主要指标：EBSD 探测器空间分辨率：Al 0.1　m @20kV ；平均角偏差0.5 二、EBSD 工作原理和工作模式 工 作 原 理 工 作 模 式 信 点 息 扫 采 描 集 线 菊 扫 池 描 线 面 标 扫 三、EBSD 在研究中的应用举例 EBSD 在高碳钢球化超细化研究中的应用（孙祖庆教授课题组） SUPRA55 扫描电镜应用举例 SUPRA55 热场发射扫描电子显微镜广泛用于冶金、生物、建筑、机械等行业的材料 形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等。本电镜配备有 X 射线能谱分析仪和