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酸洗、去PSG设备开机运行操作及关机 酸洗、去PSG开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机。 酸洗设备 去PSG设备  甩干机 甩干设备开机前检查 压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar。 DI水阀 CDA阀 N2阀 甩干机运行及操作 第一步：打开电源开关，在触摸屏“参数设置”画面中设置工艺参数，并点击“低温开”、“高温开”按钮。 甩干机运行及操作 第二步：等待温度控制器上的温度显示达到设定值； 第三步：点击“开门”按钮，打开盖板，放入装载硅片的片盒后，双手按住“关门”按钮，直至盖板关到位； 第四步：按“运行”按钮进行工作； 第五步：甩干结束，蜂鸣器响后按“开门”按钮，打开盖板取出片盒。 甩干机的关机 1、打开盖板确认旋转盘内无片盒； 2、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态； 3、打开电控柜门，关闭电源 4、关闭DI水\N2\CDA阀门 电源开关 电控柜内总电源 中联酸洗机 中联酸洗机比较与JJC酸洗机除多了自动烘干功能外，其它工艺均一致。 开机检查及关机参照制绒设备。 正面图 背面图 中联酸洗机 热风烘干系统 加热鼓风设备 中联酸洗机的运行操作 打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备”按钮，等待触摸屏进入操作主画面。 电源启动 运转准备 中联酸洗机的运行操作 主画面 进入“主画面”后，按屏幕右下角的“菜单栏”，即进入菜单，对设备各项功能、工艺参数进行设置。 菜单栏 点击菜单栏的各项功能，可进行开关盖板、机械臂手动移动、加液、排液、鼓泡、加热、循环泵开关、工艺参数的各项操作。 中联酸洗机的运行操作 当各工艺条件满足后，点击“原点搜索”，等屏幕左下角“原点指示”显示“已到原点”后，分别点击“自动模式”“清洗已准备”“机械手运行”，设备即进入自动运行状态。 That’s all .Thank you. / 谢谢 ，再见。 * * １ 　　　 　　　 　　　　　　　　 　　　　 　 2011-9-10 单 晶 清 洗 设 备 培 训 概 述 第一部分：单晶清洗设备的组成 第二部分：单晶清洗设备的开机 第三部分：单晶清洗设备操作 第四部分：单晶清洗设备的关机 单晶清洗设备的组成 一、单晶制绒机 1、单晶制绒槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、NaOH、IPA补液系统/一套 4、纯水预热槽/一个 5、电控柜/一个 二、酸洗机 1、酸洗槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个 三、去PSG机 1、去PSG槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个 四、甩干机 单晶清洗设备功能介绍 单晶槽式制绒机：用碱性溶液（NAOH）清洗硅片表 面的污 损， 并在硅片表面刻蚀出金字塔形的绒面。 酸洗机：用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。 去PSG机：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。 甩干机：先用水清洗硅片，再用热氮气去除硅片表 面残留的液体。 单晶制绒设备主体 上下料台 上料台 下料台 NAOH、IPA自动补液系统  纯水预热槽  电控柜内部图  压缩空气、氮气和纯水供应管 工 作 流 程 NAHO 预处理 60S 上料台 DI水 喷淋 25S DI水 漂洗 10S HF 酸洗 10S DI水 漂洗 10S NAOH、IPA、辅助剂 制绒 1100S DI水 漂洗 10S DI水 漂洗 30S NAOH、H2O2 去损伤 180S 下料台 单晶制绒 工 作 流 程 HCL 酸洗 120S 上料台 甩干 下料台 DI水 喷淋 120S DI水 漂洗 60S DI水 喷淋 60S HCL、HF 酸洗 120S DI水 漂洗 60S 酸洗 工 作 流 程 HF 酸洗 120S 上料台 甩干 下料台