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L 99
中华 人 民共 和 国电子行 业 标 准
sJ/T10311一92
低压化学气相淀积设备
通用技术条件
Genericspecificationoflow
PressureChemicalvaporDepositionsystem
1992-06-05发布 1992-12-01实施
中华人民共和国机械电子工业部 发布
中华人民共和国电子行业标准
低压化学气相淀积设备
通用技术条件 SJ/T10311-92
GenericSpecificationoflow
PressureChemicalvaporDepositionSystem
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