基于聚偏氟乙烯扫描探针显微镜系统.PDF

基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统——— 魏晋鹏 黄强先 张昔峰等 　 　 基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统 魏晋鹏 黄强先 张昔峰 盛秀丽 　 　 　 ， ， 合肥工业大学 合肥 ２３０００９ ： （ ） （ ）， ， 摘要 采用聚偏氟乙烯 ＰＶＤＦ 压电薄膜和压电陶瓷 ＰＺＴ 并结合由电化学研磨得到的钨探针 。 ， ， 研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头 在该测头中 ＰＶＤＦ压电薄膜作为振动梁 其下方 ， ， ， ， 中间位置固定有钨探针 在 ＰＺＴ的驱动下 ＰＶＤＦ和探针处于谐振振动状态 同时 ＰＶＤＦ作为微力传 感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力。 、 所构建测头结合三维纳米定位台 控制程序等构 。 、 、 、 成了新型扫描探针显微镜系统 介绍了测头的构成 工作原理 特性以及 ＳＰＭ 系统的整体结构 测量 、 、 ， 原理 三维工作台的定位控制 信号处理过程和整系统特性测试 并以一维标准光栅为试样进行三维图 ， 。 像扫描 证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性 ： ； ； ； 关键词 ＰＶＤＦ振动梁 钨探针 定位控制 扫描探针显微镜 中图分类号： ； ： ／ ＴＨ７１ ＴＨ８９ ＤＯＩ １０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１００４－１３２Ｘ．２０１２．２３．０１４ 　　　　　　 ｊ ＳＰＭ ＳｓｔｅｍＢａｓｅｄｏｎａＮｅｗ－ｓｔｌｕｓＦａｂｒｉｃａｔｅｄｂ ＰＶＤＦＭｅｍｂｒａｎｅ 　 ｙ 　 　 　　 ｙ 　 　 ｙ 　 　 ＷｅｉＪｉｎ ｅｎ Ｈｕａｎ Ｑｉａｎ ｘｉａｎ Ｚｈａｎ Ｘｉｆｅｎ Ｓｈｅｎ Ｘｉｕｌｉ 　 　 　 　 ｐ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ 　 　 　 ， ， ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｈｅｆｅｉ ２３０００９ 　 ｙ 　 ｇｙ 　 ：