应力导致的薄栅氧化层漏电流瞬态特性研究!.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 N# ’ $## ’ ， ， ， P +N# ) +’ ,?QF?DU?@ $## （ ） ###3%$’#8$##8N# #’ 8 !2’3#N S/MS :*5,-/S ,-)-/S $## /B7G + :BVE + ,I + 应力导致的薄栅氧化层漏电流瞬态特性研究! 刘红侠 郝 跃 （西安电子科技大学微电子研究所，西安 !##!） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $## % $! $## $’ 分别研究了 隧穿应力和热空穴 （ ）应力导致的薄栅氧化层漏电流瞬态特性 在这两种应力条件下，应力 () ** + 导致的漏电流（ ）与时间的关系均服从幂函数关系，但是二者的幂指数不同 热空穴应力导致的漏电流中，幂指 ,-./ + 数明显偏离 ，热空穴应力导致的漏电流具有更加显著的瞬态特性 研究结果表明：热空穴 机制是由于氧化 0 + ,-./ 层空穴的退陷阱效应和正电荷辅助遂穿中心的湮没 利用热电子注入技术，正电荷辅助隧穿电流可被大大地减弱 + + 关键词：薄栅氧化层，应力导致的漏电流（ ）， 隧穿，热空穴应力，衬底热电子 ,-./ () ： ， !## !%2#* #!# 还是国内却研究的很少 本文分别对 和 应力 + () ** 引 言 导致的氧化层漏电进行了研究，研究了在这两种应 力状态下漏电流的瞬态特性 研究结果指出 应 + ** 随着栅氧化层的减薄，应力导致的薄栅氧化层 力下的 瞬态特性与 应力下的 瞬态特 ,-./ () ,-./ 漏电特性目前已经成为64, 器件的主要可靠性因 性相似，即同样服从幂函数关系，但是幂指数不同， 素+ 关于应力导致的漏电问题，目前已经提出了几种 表现在双对数坐标系中为曲线的斜率不同 而且