互连线间容性串扰对延迟影响.pdfVIP

第25卷　第3期 固体电子学研究与进展 V o l. 25,N o. 3　 　　　　　　　　 　　　　　　　　 2005 年 8 月 R ESEA RCH PRO GR ESS O F SSE A ug. , 2005　 器件物理与器件模拟 互连线间容性串扰对延迟的影响 孙加兴　叶　青　周玉梅　叶甜春 ( 中国科学院微电子中心, 北京, 100029) 收稿,收改稿 摘要: 集成电路的性能越来越受到互连线间寄生效应的影响, 特别是耦合电容的容性串扰, 容性串扰引起互 连线跳变模式相关的延迟。文中从 E lmo re delay 定义的角度推导了互连线受同时跳变的阶跃信号激励时开关因 子的大小, 分析了互连线受非同时跳变的阶跃信号激励时耦合电容对互连线延迟的影响, 给出了不同激励时的 受害线延迟计算方法。分析表明, 开关因子为 0 和 2 不能描述耦合电容对受害线延迟影响的下上限。 模拟 H sp ice 结果证明了分析计算的准确性。 关键词: 容性串扰; 容性串扰延迟; 开关因子 中图分类号: TN 405. 97　　文献标识码:A 　　文章编号:(2005) 0341606 Stud ies on Coupling Capac itance D elay for Coupled RC In terconnects SUN J iax ing　YE Q ing　ZHOU Yum ei　YE T ianchun ( , , , 100029, ) M icroelectronics R D Center Ch inese A cad em y of S ciences B eij ing CH N Abstract: T he perfo rm ance of h igh speed VL S I circu its is increasingly lim ited by in terconnect capacitive coup ling. Capacitive coup ling betw een in terconnects can lead to pattern dependen t delay variation. In th is paper , w e revisit th is basic elem en t of m odern signal in tegrity p rob lem. W e get the exact sw itch facto r from E lm o re delay defin ition and analyze the coup ling capacitance delay w hen the inpu ts of