单晶硅多晶硅的生产工艺以及性质特点培训课件(ppt).pptVIP

多晶硅的用途 多晶硅具有半导体性质，是极为重要的 优良半导体材料 电子工业中广泛用于制造半导体收音机、 电冰箱、彩电、电子计算机等的基础材料 多晶硅的最终用途主要是生产集成电路、 分立器件和太阳能光伏电池板 太阳能电池的制备和发电原理 我国及全球多晶硅生产情况 我国多晶硅厂家生产情况 改良西门子法 1 硅烷法 2 流态床反应法 3 太阳能级多晶硅的制备传统方法 改良西门子法 西门子法，即采用H2还原SiHCl3生产高纯多晶硅的方法，由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利，1965年左右实现了工业化。 改良西门子工艺流程图 改良西门子法主要包括五个环节 SiCl4的氢化分离 尾气回收 SiHCl3的氢还原 精馏提纯SiHCl3 SiHCl3的合成 反应原理 三氯氢硅的合成 Si+HCl SiHCl3+H2 三氯氢硅的还原 4SiHCl3 Si +3SiCl4 +2H2 SiHCl3 +H2 Si+3HCl SiCl4+2H2 Si+4HCl Si+3HCl 工艺所用设备 氯化氢合成炉 沸腾炉 还原炉 氯化氢合成炉 SiHC13的合成在沸腾炉中进行 工作原理： 固体燃料在炉内被向上流动的气流托起，在一定的高度范围内作上下翻滚运动，并以流态化(或称沸腾)状态进行燃烧的炉膛，又称流化床燃烧炉。 SiHCl3的氢还原在还原炉内进行 还原炉示意图 尾气回收 尾气的回收就是将尾气中的有用成分，主要是H2、SiHCl3、SiCl4和HCl等，通过物理和化学的方法使之分离，经过提纯后再应用于生产中。在多晶硅生产过程中，尾气主要来自于以下两个工序，SiHCl3氢还原工序，SiCl4氢化工序。 尾气回收方法主要有冷冻法和吸附分离法 尾气回收示意图 活性炭吸附纯化氢气 从吸收塔顶部出来的氢气被送到活性炭吸附柱进行吸附，以除去其中含有的极少量氯硅烷和氯化氢，获得纯净的氢气。纯氢气可以直接返回相应的原工序中使用。 尾气回收装置 改良西门子法产生的废气物 反应产生的三氯氢硅，氯化硅，氯化氢均为主要空气污染物的卤化物。 四氯化硅是最改良西门子法生产时产生的主要的污染物。 废气物的利用 将四氯化硅转化为多晶硅的原料三氯氢硅，进而返回生产系统直接生产 多晶硅，实现生产线的闭路循环。 利用四氯化硅作为原材料生产其他化工产品。 改良西门子法小结 1 改良西门子法是目前占有优势的主要方法 2 3 4 产量占当今世界总量的70％——80％ 国外用该法生产的多晶硅纯度为9～11N 直接电耗可降到60—70 kW·h／kg 题目 硅烷法 硅烷法工艺流程图 硅烷热分解法，即利用甲硅烷(SiH4)的热分解反应制取高纯硅。 反应原理 * 目录 硅的简介 硅的性质及分布 工业硅的生产 多晶硅的生产 未来的展望 硅的含量及存在形式 在地壳中，硅的含量居第二位 自然界中，只以化合态存在，是构成矿物和岩石的主要成分 国内硅矿分布情况 我国的水晶、石英、天然硅砂除上海、天津市以外，其它省、市、自治区均有产出。 质量较好的广东、广西、青海、福建、云南、四川、黑龙江等省区；质量最好的有海南、江苏。 国外硅矿的分布 据资料记载，巴西较为丰富，次之为马达加斯加和危地马拉。美国、加拿大、苏联、法国、意大利、印度、澳大利亚、土耳其、缅甸等30多个国家和地区有少量资源。 危地马拉 巴 西 马达加斯加 元素属性 颜色和外表： 深灰色、带蓝色调 名称：硅 符号：Si 序号：14 系列：类金属 族：第四主族 周期： 3 硅的性质 物理性质： 沸点：2355℃ 熔化热：50.55kJ/mol 蒸气压：4.77Pa（1683K） 密度：2330 kg/m3 硬度：36.5 颜色和外表： 深灰色、有光泽 熔点：1420℃ 硅 晶体类型：原子晶体 化学性质： （1）与单质反应： Si + O2 == SiO2，条件：400℃ Si + 2F2 == SiF4 Si + 2Cl2 == SiCl4，条件：300℃ 常温下稳定，高温下比较活泼 3Si + 2N2 == Si3N4，条件：1000℃ Si + C == SiC，条件：2000℃ （2）与氧化性酸反应： （3）与碱反应： 在常温下硅能与稀碱溶液反应 Si + 2OH - + H2O == SiO32- + 2H2↑ Si + 4HF == SiF4↑ + 2H2↑ 在常温下硅对多数酸是稳定 Si + 4HNO3+6HF == H2SiF6+4NO2+4H2O 硅的分类 工业硅 高纯硅 硅 单晶硅 无定形硅 高纯硅 多晶硅 电子级硅 太阳能级硅 高纯硅