光纤干涉绝对测距技术-中国科技论文在线.PDFVIP

光纤干涉绝对测距技术 发展 绝对距离测量 ，出现 了多种激光绝对 测距技 术 ]，如多波长干涉技术、线性调频外差干涉技 术等。此外，为减小测量仪器的体积，光纤传感技 术也得到了很大发展E。本文把准 白光干涉瞄准 技术与光纤传感技术相结合，成功地实现 了只用 短导轨即可完成 1m 以上的绝对距离测量 。 1 系统原理 系统 由定位干涉仪和扫描干涉仪组成 ，见图 1。定位干涉仪主要完成 目标 的定位瞄准。光源采 零位光纤组的光程差 △ 一 △L + (2) 调整时，让 一0时零位光纤组 的光程差为 0。如果已知 一 目标镜处于工位置时，第 组光 纤在扫描工作台距离为 时出现零光程，则有 L= △L。／4+ 2 (3) 扫描干涉仪采用迈克尔逊干涉仪结构 ，测量 扫描导轨的位移值，与零位光纤组配合则可测量 扫描导轨的相对零位的位置。为讨论方便 ，假设在 =0时零位光纤组刚好为零光程差。当零位光纤 组过零光程差时，扫描干涉仪置零，则有 围 1 光耋f干涉绝对测距原理圈 S= K ／2 (4) 用 ^=670nm半导体激光器，为缩短相干长度 ， 式 中，K为条纹计数值；^。为He—Ne激光器的波 采用电流注入法对半导体激光器进行 电流调制 ， 长 。 调制频率为 455kHz。实验表明，调制后 的相干长 当扫描工作 台从 =0开始扫描，直到 = … 如果有非零位光纤组出现零光程差信号，则 国家 白热科学基金赍助项 目 可由式 (3)、式(4)求得 目标镜的距离工。 收稿 日期：l999—07—23 1019 · 中国科技论文在线 中国机槭工程第 l0卷第 9期 1999年 9月 光程差的标定 。下面以标定为例说 明 自标定的过 2 零光程差信号的提取 程：先通过调整光纤长度的方法使得 △ √4略小 某光纤组 出现零光程差信号经整流滤波处理 于2s～ ，目标镜处于△L。／4工2s… 接着扫 后 ，形成包络信号，见图2。包络信号的顶点即为 描工作 台移动，设光纤组 0出现零光程差信号时 零光程差位置。可采用多种方法求得零光程差位 扫描工作台的距离为 ，光纤组 1出现零光程差 置 信号时扫描工作 台的距离为s，由式(3)可得 (1)般 夺 过皋 珐