金属表面改性离子注入技术的发展与应用-中国科技论文在线.PDF

中国科技论文在线 陈勇军等 金属表面改性——离子注 鳖壁量堕 金属表面改性 离子注入技术的发展与应用 陈勇军 。史庆南，左孝青 。王茗 ，吴新光 (昆明理工大学材料与冶金工程学院，云南 昆明650093) [摘要] 系统介绍了金属表面改性用离子注入的机理和特点。剖析 了温度、注入剂量、离子种类等影响因子对改 性层效果的影响，综述 了该技术在提高强度和硬度、改善磨损性能、降低摩擦系数等方面的用途，展示了离子注入技术 的开发方向和应用前景。 [关键词] 离子注入 ；金属表面改性 ；应用 [中图分类号]TG156 [文献标识码】A [文章编号】1001—3660(2003)06—0004—04 ImprovementofSurfacePropertyofM etallicM aterials______‘_________·___—— theDevelopmentandApplication ofIon Implantation CHEN Yotc-jun，SHIQing-ndn。ZUO 鼋 。WANG』l如lg-W X／n-guang (FacultyofMaterialsandMetallurgyEnneering，KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kunming650093，China) [Abs恻 ] Mechanismandcharacteristicofionimplantationusingforimprovementofsurfacepropertiesofmetallicmaterials 8代 describedsystematically．Anatomygenessuchastemperature，dosa andthekindofioninfectiononimprovedhyer，itsapplica。 fionssuchasenhancinghardnessandst~ gth，improvingwearresistance，r~ucingfrictionmodulushavebeenreviewed，soastoin。 dicatethedirectionofdevelopmentandwiderangeofitsuse． [Keywords] Ionimplantation；Improvementofsurfacepropertyofmetallicmaterials；Application 0 引言 常用注人原子 有：碳、氮、氧、硼、氦、磷、铁、铝、锌、 钴 、锡 、镍等，注人原子原则上可以是元素周期表中的 现代科技的高速发展 ，对金属材料表面性能(抗磨 任何元素；被注人基体原则上可以是任何材料；离子注 损、抗腐蚀 、抗疲劳等)的要求 日益提高，特别是高负 人将引起金属表层的成分和结构的变化以及原子环境 荷、高转速、高寿命、耐高温、低损耗金属零部件的迫切 和电子组态等微观状态的扰动，因此导致金属各种物 需求，广泛采用最近发展的金属表面处理技术及工艺 理、化学 、机械性能的变化 。主要包括 3个方面H：(1) (抛光 、电刷镀、化学镀复合镀层、热喷涂、激光表面强 改善物理性能：例如改善材料表面的电磁学及光学性 化、汽相沉积 、等离子体渗氮 、渗碳、渗硼及金属修补胶 能，提高超导的转变温度等；(2)改变化学性能 ：抗腐 和薄膜性保护技术)虽然在各 自领域发挥着重要作用， 蚀 、抗氧化性能；(3