特种加工小.doc

特种加工——离子束加工 前5 未來科技产品是向着更小更准确的方向发展的。其中集成、纳米技术将是未來的时代主 题词。尤其是纳米技术，纳米材料、纳米电了、纳米机械等都将为人类所利川，而这些新技 术都要在可靠的加工技术上才能真正实现，因为离子束对以通过电子光学系统进行聚焦扫 描，离子束加工的方法是通过轰击材料逐层去除原子，并JT离子束流密度及离子能量可以梢 确控制，所以离子刻蚀可以达到纳米级的加工精度。因此，离子束加工是特种加工方法小比 较精密、细微的加工方法，离子束加工更是当代纳米加工技术的基础。 1.现状分析 传统加工已经有了很久的历史，它对人类生产和物质文明起到了极大的作用。但到了今 天，传统的加工方法已经不能满足科学的进步和人们的牛:活物质追求，各种特种加工方法应 运而牛，离子束加工便是其中一种，为了满足人们今后的生活需求，特种加工将会有着不可 替代的作用，在多种多样的特种加工屮离子束加T将因为其加工屮的独特性在推动各行各业 发展中存在着无可替代的作用。 2.1原理 离了束加工和电了束加工方法类似，是在真空条件下，将氮、愆、氤等惰性气体通过离 子源产生离子束经加速、集束、聚焦后，使Z撞击到被加工衣而上以实现各种加工的方法。 2.2特点 还具有其它特点： .加工精度和表而质量鬲。离子朿轰击材料是逐层去除原子或分子，离子束流密度离 子能量可以精确控制，其加工粕度可达纳米级(0.001um)o山于加工吋被加工表而层不产牛. 热量，不引起机械应力和损伤，故加工质量高。 ?加工材料广泛。由于离子束加工原理是力效应，故对脆性、半导体、高分子等材料都 可加工。月?加工在真空下进行，故也适用于加工易氧化的金属、合金等材料。 ?加工方法丰富。离了束加工可进行去除、镀膜、注入、曝光等多种加工方法。 .控制性能好，易于实现口动化。离子束加工被认为是最有询途的超粘:密加工和微细 2.3分类 2.3.1离子束刻蚀 离了束刻蚀是在真空中用氮离了轰击工件，将其表面的原了逐个剥离(溅射效应)，这种 工艺实质上是一种原子尺度的“切剥”加工。通过离子束刻蚀町对工件进行切割和钻孔，来加 工表而图形。 1C)d) 1 C) d) 图64各类离子束加工示慰图 d)离子刻D M沉积皿；镀：)f人 离子諒2-吸极(吸收电厂川加门 3 离子束―工件5 -杞*|]1 用离子束刻蚀法比化学刻蚀得到的线条更清晰均匀，侧壁陡直，用离子束刻蚀法町制得 线宽为微米或亚微米级的图形。并且重复性好，易于控制。离了束刻蚀法该技术不仅可用来 制造大规模或超人规模集成电路，也可用于精帑机械制造。冃前，主要用离了束制造激光器 和光学系统中的衍射光栅、微型加速度计的精确质量块以及超精密加工用的单品金刚石刀具 等。未來的航空机载设备和武器系统、发动机和飞机蒙皮中将需要大量的各种微型传感器和 制动器，这些器件的整休尺寸仅为儿毫米，最小加工尺寸和最高尺寸精度分别要求达到0.1 微米级和().()()1微米级，因此离了刻蚀工艺将是加工这类器件的重要方法之一。 针对离子束刻蚀速度较慢的缺点，国外己发展了反应离子束刻蚀和离子束辅助刻蚀工 艺,这种工艺在尺寸精度高的基础上，各向界性的刻蚀能力和刻蚀速度均超过了离子束刻蚀。 2.3.2离了束精微加工 离子束精微加工是靠带能量的粒子打到工件表面上，当高速运动的离子束传递到材料表 面上的能最超过了原子(或分子)间的键合力时，使材料表面的原子(分子)溅射出来，达到加 工的目的。离子朿梢微加工主要包括离子束刻蚀、研磨、抛光、剥离以及打孔、切割等。 离子束精微加工的特点如下： ⑴有极高的分辨率例如在半导体工艺屮己能刻出0」微米的线条；在光学工业屮己能刻蚀 出间距为0.28微米其至().13微米的光栅等。 冇极高的加工精度一般加工误差可以控制到5毫微米以下，可作为最终的精加工工序。 例如用20千伏的加速电压加速氨离子，轰击已被机械磨光的玻璃，当离子浓度达很高吋， 玻璃表面被剥离1微米左右并形成极光滑表面。若将机械研僭与离了抛光结合起來制造非球 面透镜，则具透明度将显著提高。在半导体工业屮，通过把所需图形曝光、显像并制出抗蚀 膜后，用氮离子束代替化学刻蚀进行离子束蚀刻，可以大大提高蚀刻楮度。 被加工表面无应力，并fl.可以清除普通方法抛光产生的表面应力。例如采用机械抛光法 和氨离子溅射的抛光蓝宝石棒相比，用氟离子溅射抛光过的蓝宝石棒表面应力人人下降。 可以梢微加工任何材料，如金属、半导体、橡胶、塑料、陶瓷等。如气动轴承是个变宽 或变深的螺旋槽，要求槽壁、槽底光洁。川离子束刻蚀的碳化硼、钛合金和钢结硬质合金等 材料的轴承，其性能远远优于以常规技木加工者。而过去用磨削和研磨的方法，只能加工等 宽槽，且截面呈U形，而精度、均匀性和重复性均不能很好地满足要求。 图6-11离子束加匚非球